宜宾英发德耀科技有限公司王晨获国家专利权
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龙图腾网获悉宜宾英发德耀科技有限公司申请的专利一种减少扩散设备气压波动的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223939212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520860192.7，技术领域涉及：F17C13/00；该实用新型一种减少扩散设备气压波动的装置是由王晨;张敏设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少扩散设备气压波动的装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气源柜领域，尤其涉及一种减少扩散设备气压波动的装置。包括气源柜和调节结构，所述气源柜的一侧安装有调节按钮，所述气源柜的上表面固定连通有连接管，所述调节结构位于气源柜的上方，所述调节结构包括输送管，所述输送管与连接管的内壁相贴合，所述输送管与连接管相连通，所述输送管的外壁固定连通有储气罐，所述输送管的外壁安装有调节阀，所述输送管的外壁安装有单向阀。本实用新型提供的一种减少扩散设备气压波动的装置具有当氮气出现压力报警时，单向阀可以使氮气储气罐内压力稳定，使设备运行时压力稳定，并且，可使设备氮气压力稳定，可使管内气体稳定，大大降低硅片的利用率，减少返工情况的优点。
本实用新型一种减少扩散设备气压波动的装置在权利要求书中公布了：1.一种减少扩散设备气压波动的装置，其特征在于，包括：气源柜1和调节结构3，所述气源柜1的一侧安装有调节按钮2，所述气源柜1的上表面固定连通有连接管5，所述调节结构3位于气源柜1的上方，所述调节结构3包括输送管301，所述输送管301与连接管5的内壁相贴合，所述输送管301与连接管5相连通，所述输送管301的外壁固定连通有储气罐303，所述输送管301的外壁安装有调节阀304，所述输送管301的外壁安装有单向阀305。
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