中科汇珠(广州)半导体有限公司郭松波获国家专利权
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龙图腾网获悉中科汇珠(广州)半导体有限公司申请的专利一种石墨过渡件及外延生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936659U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520619155.7，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种石墨过渡件及外延生长设备是由郭松波;杨军伟;林浩勃;宋华平设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨过渡件及外延生长设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种石墨过渡件及外延生长设备，石墨过渡件应用于外延生长设备，包括内壳和外壳；内壳和外壳之间可拆卸连接，内壳的至少部分位于外壳内，且内壳的至少部分的外壁与外壳的内壁贴合，能够覆盖外壳的内壁；内壳和外壳的进气端与外延生长设备的进气通道连通，出气端与外延生长设备中的石墨托盘相对，生长气体从内壳的腔体中通过。本实施例中，内壳可拆卸的安装于外壳，由于内壳至少部分的外表面贴合在外壳的内表面，以使外壳的内表面不会暴露在外，生长气体从内壳的腔体中通过，沉积物只形成在内壳的内表面，不会形成在外壳内，能延长外壳的使用寿命；在对石墨过渡件进行打磨或者更换时，只需打磨清洁或更换内壳，降低维护成本。
本实用新型一种石墨过渡件及外延生长设备在权利要求书中公布了：1.一种石墨过渡件，其特征在于，应用于外延生长设备，包括：内壳10和外壳20； 所述内壳10和所述外壳20之间可拆卸连接，所述内壳10的至少部分位于所述外壳20内，且所述内壳10的至少部分的外壁与所述外壳20的内壁贴合，能够覆盖所述外壳20的内壁； 所述内壳10和所述外壳20的进气端与所述外延生长设备的进气通道21连通，出气端与所述外延生长设备中的石墨托盘相对，生长气体从所述内壳10的腔体中通过。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科汇珠(广州)半导体有限公司，其通讯地址为：511458 广东省广州市南沙区环市大道南25号(自编1栋研发楼A4)508房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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