杭州纤纳光电科技股份有限公司张鹭获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州纤纳光电科技股份有限公司申请的专利一种大面积功能层薄膜沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936610U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520465662.X，技术领域涉及：C23C26/00；该实用新型一种大面积功能层薄膜沉积装置是由张鹭;陈峰;马千岭;颜步一;姚冀众设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大面积功能层薄膜沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于薄膜沉积设备技术领域，涉及一种大面积功能层薄膜沉积装置，包括储液罐、载气进气管路、雾化混合系统、分散系统、加热系统、石英反应腔体和排气系统，储液罐和载气进气管路分别与雾化混合系统相连通，在储液罐上设置加料口，分散系统分别将雾化混合系统与石英反应腔体相连通，排气系统与石英反应腔体相连通，待沉积的基片被放置在石英反应腔体内的沉积平台上，加热系统设置在沉积平台内，在石英反应腔体的侧面分别设置便于基片进出的进口和出口。本实用新型通过优化反应源分布，显著提高了沉积薄膜的均匀性和批次重复性，且沉积过程在常压下进行，避免了光伏组件长期在真空环境下造成的衰减。
本实用新型一种大面积功能层薄膜沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种大面积功能层薄膜沉积装置，其特征在于，包括储液罐、载气进气管路、雾化混合系统、分散系统、加热系统、石英反应腔体和排气系统，储液罐和载气进气管路分别与雾化混合系统相连通，在储液罐上设置加料口，分散系统分别将雾化混合系统与石英反应腔体相连通，排气系统与石英反应腔体相连通，待沉积的基片被放置在石英反应腔体内的沉积平台上，加热系统设置在沉积平台内，在石英反应腔体的侧面分别设置便于基片进出的进口和出口。
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