郑州势垒科技有限公司段向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州势垒科技有限公司申请的专利一种MPCVD设备用气体均流装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223936603U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520420320.6,技术领域涉及:C23C16/511;该实用新型一种MPCVD设备用气体均流装置是由段向阳;许坤;丁佩;杨鹏设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MPCVD设备用气体均流装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种MPCVD设备用气体均流装置,涉及MPCVD设备技术领域,包括注气桶和进气组件;注气桶:下端安装有导流组件,所述注气桶的内部安装有调节组件,所述导流组件与调节组件相连;进气组件:包含进气箱、折流板和连接环,所述注气桶上端开设有进气口,所述进气口的内部固定有连接环,所述连接环的上端固定有进气箱,所述连接环与进气箱的内腔相通,所述进气箱的内部固定有均匀分布的折流板,通过设置进气组件能够有效稳定气体的流速,所述导流组件包含导流桶和导气管,能够稳定气体的流速,同时能够提高气体的均匀性,并且能够根据调整需求调整气流大小。
本实用新型一种MPCVD设备用气体均流装置在权利要求书中公布了:1.一种MPCVD设备用气体均流装置,其特征在于:包括注气桶1和进气组件4; 注气桶1:下端安装有导流组件2,所述注气桶1的内部安装有调节组件3,所述导流组件2与调节组件3相连; 进气组件4:包含进气箱41、折流板42和连接环43,所述注气桶1上端开设有进气口,所述进气口的内部固定有连接环43,所述连接环43的上端固定有进气箱41,所述连接环43与进气箱41的内腔相通,所述进气箱41的内部固定有均匀分布的折流板42。
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