楚赟精工科技(上海)有限公司刘永明获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利一种基片承载座和气相生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936602U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520631821.9，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种基片承载座和气相生长设备是由刘永明设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片承载座和气相生长设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种基片承载座和气相生长设备。该基片承载座包括基座、轴体、托盘和高度调节机构；轴体固定穿设于基座的底面中部，基座顶面设置放置托盘的第一凹槽，第一凹槽朝向轴体的一侧壁为开口侧壁；托盘顶面设置有第二凹槽，托盘包括近端部和远端部，近端部经开口侧壁与轴体活动适配，远端部为自由端；高度调节机构包括相连通的执行部和介质通道，执行部位于远端部下方，介质通道内提供的驱动介质能够为执行部提供动力，使执行部抬高远端部，从而使远端部与近端部之间形成高度差，能够改变工艺气体在基片上沉积时的耗尽趋势，提高基片膜层厚度的均匀性。
本实用新型一种基片承载座和气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种基片承载座，其特征在于，包括： 基座，顶面设置有第一凹槽，底面中部固定穿设有轴体，所述第一凹槽朝向所述轴体的一侧壁为开口侧壁； 托盘，设置于所述第一凹槽内，所述托盘顶面设置有第二凹槽以放置基片；所述托盘包括近端部和远端部，所述近端部经所述开口侧壁与所述轴体活动适配，所述远端部为自由端； 高度调节机构，设置于所述基座，包括相连通的执行部和介质通道，所述介质通道用于提供驱动介质，所述执行部位于所述远端部下方，用于在所述驱动介质的作用下抬高所述远端部，使所述近端部与所述远端部之间具有高度差。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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