拓荆科技(上海)有限公司靳坤鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936601U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520564654.0，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备是由靳坤鹏;关帅;吴凤丽;林蓬涛设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备，晶圆支撑装置包括支撑柱和重锤，支撑柱的底部设有多个沿其高度方向间隔设置的卡槽；重锤内部设有容纳腔和通孔，通孔连通重锤外部和容纳腔；其中，支撑柱的底部穿过通孔位于容纳腔内，通过卡块卡接任意一个卡槽，且将卡块卡在通孔下方。本申请通过在支撑柱的底部沿其高度方向间隔设置多个卡槽，再通过卡块卡接到任意其中一个卡槽上，再将卡块卡在通孔下方，实现支撑柱与重锤的卡接固定；其中，工作人员可通过调节卡块与不同位置的卡槽的卡接，从而调节支撑柱位于重锤外部的支撑高度，以适配不同尺寸机台的需求，从而提高晶圆支撑装置的适配性。
本实用新型一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括： 支撑柱，所述支撑柱的底部设有多个沿其高度方向间隔设置的卡槽； 重锤，所述重锤内部设有容纳腔和通孔，所述通孔连通所述重锤外部和所述容纳腔； 其中，所述支撑柱的底部穿过所述通孔位于所述容纳腔内，通过卡块卡接任意一个所述卡槽，且将所述卡块卡在所述通孔下方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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