合肥晶合集成电路股份有限公司王亮获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利气体导流环的安装定位结构和镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520534283.1，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型气体导流环的安装定位结构和镀膜设备是由王亮;张振;杨安立;吴数林设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体导流环的安装定位结构和镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种气体导流环的安装定位结构和镀膜设备。气体导流环的安装定位结构用于将气体导流环安装至镀膜腔顶盖的过程中对气体导流环进行定位，安装定位结构包括：多个定位柱，定位柱的第一端用于与镀膜腔顶盖上的安装槽连接，安装槽内包括用于限定定位柱的滑动方向与滑动距离的限位结构；定位柱的第二端用于在穿过气体导流环的安装孔时，对气体导流环定位。这样，在将气体导流环安装至镀膜腔顶盖的过程中，先通过多个定位柱对气体导流环进行定位，再固定气体导流环，可以提高气体导流环安装后密封圈受力均匀性，避免密封圈破损的情况发生，提高镀膜腔内反应压力的稳定性，减少晶圆表面颗粒堆积情况，提高晶圆镀膜的良率。
本实用新型气体导流环的安装定位结构和镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种气体导流环的安装定位结构，其特征在于，所述安装定位结构用于将所述气体导流环安装至镀膜腔顶盖的过程中对所述气体导流环进行定位，所述安装定位结构包括： 多个定位柱，所述定位柱的第一端用于与所述镀膜腔顶盖的安装槽连接，所述安装槽内包括用于限定所述定位柱的滑动方向与滑动距离的限位结构，所述定位柱的第二端用于在穿过所述气体导流环的安装孔时，将所述气体导流环定位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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