苏州纳维科技有限公司周靖焱获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州纳维科技有限公司申请的专利一种旋转式生长设备及生长系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223936599U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520364737.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种旋转式生长设备及生长系统是由周靖焱;徐琳;李观超设计研发完成,并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转式生长设备及生长系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种旋转式生长设备及生长系统,该旋转式生长设备包括:壳体与旋转承载组件,壳体内部设有容置腔;旋转承载组件包括气动管路、旋转托以及支撑件;旋转托包括旋转装配件及多个扇叶;旋转装配件转动连接于壳体,其一端连接多个扇叶,另一端穿设至壳体的外部与支撑件连接;气动管路穿设至容置腔中且朝向扇叶设置。本实用新型通过旋转承载组件带动其上支撑的托盘和待生长样品同步旋转,能在生长过程中使待生长样品与生长气体接触更为均匀充分,提高生长质量。此外,气动管路与旋转托之间的配合能够达到转速可控的效果。相比常规生长技术,本实用新型兼具结构简单、成本低廉、可控性强以及加工质量稳定等优势,能用于制备氮化镓衬底。
本实用新型一种旋转式生长设备及生长系统在权利要求书中公布了:1.一种旋转式生长设备,其特征在于:包括: 壳体100,所述壳体100内部设有容置腔110; 旋转承载组件200,所述旋转承载组件200包括气动管路210、旋转托220以及支撑件230,所述支撑件230设置于所述旋转托220上方,用于承载固定托盘,所述托盘用于承载待生长样品;所述旋转托220包括多个扇叶221以及与所述多个扇叶221连接的旋转装配件222,所述多个扇叶221设置于所述容置腔110内部,以所述旋转装配件222为中心向外延伸;所述旋转装配件222转动连接于所述壳体100,其一端连接所述多个扇叶221,另一端穿设至所述壳体100的外部与所述支撑件230连接; 其中,所述气动管路210穿设至所述容置腔110中且朝向所述扇叶221设置,以产生驱动气体推动所述多个扇叶221旋转进而使得所述支撑件230上的所述托盘中的待生长样品旋转。
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