拓荆科技(上海)有限公司贾兰获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利冷却装置及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936598U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520608788.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型冷却装置及薄膜沉积设备是由贾兰;李培培;李疆琨;王璐设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种冷却装置及薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备包括：冷却装置、匀气板、喷淋板、进气通道和加热环，冷却装置设于匀气板的上方，匀气板设于喷淋板的上方，进气通道穿过冷却装置的板体并与匀气板连接，加热环设置在匀气板的外周，冷却装置包括：板体，板体内设置有多条冷却水道，每条冷却水道均设置有进水口和出水口以及阀门元件，冷却液体自进水口进入至冷却水道中并从出水口流出，阀门元件用于控制对应的冷却水道的通断和或流量；其中，不同的冷却水道分布在板体的不同区域，板体的不同区域与喷淋板的不同区域一一对应。通过不同的冷却水道对喷淋板的不同区域进行降温，可以优化喷淋板表面温度均匀性。
本实用新型冷却装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，其特征在于，用于调节喷淋板的温度，所述冷却装置包括：板体，所述板体内设置有多条冷却水道，每条所述冷却水道均设置有进水口和出水口以及阀门元件，冷却液体自所述进水口进入至所述冷却水道中并从所述出水口流出，所述阀门元件用于控制对应的所述冷却水道的通断和或流量； 其中，不同的所述冷却水道分布在所述板体的不同区域，所述板体的不同区域与所述喷淋板的不同区域一一对应。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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