山东大学夏智兴获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种原子层沉积设备输送晶圆装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936597U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520396049.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备输送晶圆装置是由夏智兴;陈扬设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备输送晶圆装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种原子层沉积设备输送晶圆装置，其涉及晶圆输送技术领域，包括：晶圆盒，其内部放置有整齐排列的晶圆；箱体，其内部开设有容纳腔，所述容纳腔内部设置有预处理装置，所述容纳腔内壁开设有反应气体输入口和排气口，所述反应气体输入口和排气口贯穿所述容纳腔内壁至所述箱体外侧面，所述排气口用于排出气体；输送部，其设置在所述箱体的一侧，所述输送部用于输送所述晶圆盒。本实用新型反应气体输入口可精确控制进入箱体内的反应气体流量、种类和比例，结合真空环境，实现对原子层沉积工艺参数的精准调控，输送部自动输送晶圆盒，与箱体内的预处理和沉积工艺紧密配合，实现生产流程自动化。
本实用新型一种原子层沉积设备输送晶圆装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备输送晶圆装置，其特征在于，包括： 晶圆盒，其内部用于放置晶圆； 箱体，其内部开设有容纳腔，所述容纳腔内部设置有预处理装置，所述容纳腔内壁开设有反应气体输入口和排气口，所述反应气体输入口和排气口贯穿所述容纳腔内壁至所述箱体外侧面，所述排气口用于排出气体； 输送部，其设置在所述箱体的一侧，所述输送部用于输送所述晶圆盒。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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