扬州德沪智能装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州德沪智能装备有限公司申请的专利基片装夹装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936594U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520503525.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型基片装夹装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片装夹装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了基片装夹装置，属于镀膜设备技术领域。基片装夹装置包括负载架、至少一个第一滑动件及第二滑动件，负载架上设有装夹通孔；第一滑动件的长度沿X轴延伸且位于装夹通孔内，第一滑动件沿Y轴滑动连接于负载架；第一滑动件上至少设有一个第二滑动件，第二滑动件包括滑动连接件和承载板，滑动连接件的一端沿X轴滑动连接于第一滑动件，承载板用于放置基片，承载板沿Z轴高度可调地连接于滑动连接件的另一端。该基片装夹装置能够保证靶基距在整个镀膜过程中保持一个较为固定的数值，以保证对基片镀膜的均匀性；且能够使得基片装夹装置适应于对多种不同尺寸大小和形状的基片进行装夹固定，保证整个基片装夹装置的适用性和通用性。
本实用新型基片装夹装置在权利要求书中公布了：1.基片装夹装置，其特征在于，包括： 负载架1，其上设有装夹通孔11； 至少一个第一滑动件2，所述第一滑动件2的长度沿X轴延伸且位于所述装夹通孔11内，所述第一滑动件2沿Y轴滑动连接于所述负载架1； 第二滑动件3，所述第一滑动件2上至少设有一个所述第二滑动件3，所述第二滑动件3包括滑动连接件31和承载板32，所述滑动连接件31的一端沿X轴滑动连接于所述第一滑动件2，所述承载板32用于放置基片，所述承载板32沿Z轴高度可调地连接于所述滑动连接件31的另一端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人扬州德沪智能装备有限公司，其通讯地址为：225131 江苏省扬州市开发区八里镇金山路129号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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