安徽熙泰智能科技有限公司吴玉景获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽熙泰智能科技有限公司申请的专利一种硅基蒸镀上料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520193025.1，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种硅基蒸镀上料装置是由吴玉景设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅基蒸镀上料装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及显示器技术领域，具体地说，本实用新型涉及一种硅基蒸镀上料装置，包括硅片支架1；所述硅片支架1的顶部设有传感器组件；所述硅片支架1的底部设有支撑旋转组件；所述支撑旋转组件包括吸盘结构；所述硅片支架1上设有晶圆；所述吸盘结构连接在所述晶圆的底部；所述传感器组件和所述支撑旋转组件均连接有控制器101；所述支撑旋转组件能够进行竖直方向伸缩运动，同时能够进行灵活转动；所述吸盘结构能够吸紧在所述晶圆的底部；在进行晶圆寻边操作时，支撑旋转组件能够将晶圆撑起并旋转；本装置能够实现晶圆在无滚轮接触的环境下完成寻边动作，能够有效避免产生尘埃颗粒和晶圆划伤，能够有效提升产品良率。
本实用新型一种硅基蒸镀上料装置在权利要求书中公布了：1.一种硅基蒸镀上料装置，其特征在于：包括硅片支架1；所述硅片支架1的顶部设有传感器组件；所述硅片支架1的底部设有支撑旋转组件；所述支撑旋转组件包括吸盘结构；所述硅片支架1上设有晶圆；所述吸盘结构连接在所述晶圆的底部；所述传感器组件和所述支撑旋转组件均连接有控制器101。
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