深圳奉天实业有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳奉天实业有限公司申请的专利一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520598710.2，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种FIB‑SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置，包括工作台，工作台的顶部固定设置有密封箱体；密封箱体的一侧设置有贯穿至密封箱体内部的离子柱系统，密封箱体的顶部设置有电子柱系统，密封箱体的背面设置有背板，且背板上固定安装有旋转机构，旋转机构的输出轴设置有位于密封箱体内部的电动推杆和夹持手爪，旋转机构至少用于电动推杆和夹持手爪的旋转，电动推杆至少用于夹持手爪的直线伸缩，夹持手爪至少用于对产品的自适应夹持。本实用新型采用的旋转机构，能够带动夹持手爪及产品旋转运动，更利于离子柱系统和电子柱系统对产品的加工处理，利用电动推杆能够带动产品直线移动，提高了对产品的高效加工。
本实用新型一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置，包括工作台1，其特征在于，所述工作台1的顶部固定设置有密封箱体2； 所述密封箱体2的一侧设置有贯穿至密封箱体2内部的离子柱系统4，所述离子柱系统4产生聚焦离子束，至少用于纳米级刻蚀、沉积或切割产品； 所述密封箱体2的顶部设置有电子柱系统5，所述电子柱系统5利用电子束成像，实时观察产品的表面形貌和加工过程； 所述密封箱体2的背面设置有背板7，且背板7上固定安装有旋转机构6，所述旋转机构6的输出轴设置有位于密封箱体2内部的电动推杆8和夹持手爪9，所述旋转机构6至少用于电动推杆8和夹持手爪9的旋转，所述电动推杆8至少用于夹持手爪9的直线伸缩，所述夹持手爪9至少用于对产品的自适应夹持。
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