衢州纤纳新能源科技有限公司戴万雷获国家专利权
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龙图腾网获悉衢州纤纳新能源科技有限公司申请的专利堆栈式多腔室真空加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223936582U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520387839.9，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型堆栈式多腔室真空加热装置是由戴万雷;朱纪全;俞明强;刘丁;颜步一;姚冀众设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本堆栈式多腔室真空加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种堆栈式多腔室真空加热装置，包括壳体，在壳体内设置多个独立的、上下层叠在一起的真空加热组件，每个真空加热组件分别包括真空腔室、基片输送组件、进口舱门组件和出口舱门组件，在真空腔室的两端分别设置与壳体外部连通的进口端和出口端，进口舱门组件设置在进口端用于控制进口端的开闭，出口舱门组件设置在出口端用于控制出口端的开闭，在真空舱室的四周侧壁内设置加热管路。本实用新型装置结构紧凑，基片升温速度快，真空腔室体积小、真空速度快，能够明显降低加热能耗。
本实用新型堆栈式多腔室真空加热装置在权利要求书中公布了：1.一种堆栈式多腔室真空加热装置，包括壳体，其特征在于，在壳体内设置多个独立的真空加热组件，多个真空加热组件上下层叠在一起，每个真空加热组件分别包括真空腔室、基片输送组件、进口舱门组件和出口舱门组件，基片输送组件设置在真空腔室内，用于将基片输入和输出真空舱室，在真空腔室的两端分别设置与壳体外部连通的进口端和出口端，进口舱门组件设置在进口端用于控制进口端的开闭，出口舱门组件设置在出口端用于控制出口端的开闭，在真空舱室的四周侧壁内设置用于给位于真空舱室内的基片加热的加热管路。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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