苏州盛拓半导体科技有限公司陈庆生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州盛拓半导体科技有限公司申请的专利一种掩膜夹取机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223935739U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520735438.8,技术领域涉及:B65G47/90;该实用新型一种掩膜夹取机构是由陈庆生;季汉川;陈茂洪;赵相宰;陈斌设计研发完成,并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜夹取机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种掩膜夹取机构,包括:底板,底板表面开设有中心对称分布,且相互错位的一对安装槽;一对导轨,平行设置在底板上,并且各自位于对应安装槽的外侧,使两个安装槽位于一对导轨之间;一对夹爪组件,分别设置在沿导轨长度方向的两端,其运动轨迹覆盖对应安装槽的区间;驱动装置,驱动装置包括线圈和磁钢,线圈置于安装槽内,磁钢安装在夹爪组件与线圈相邻的一侧上;一对栅尺,均通过固定板分别安装在夹爪组件上,并且与线圈相对应设置。
本实用新型一种掩膜夹取机构在权利要求书中公布了:1.一种掩膜夹取机构,其特征在于,包括: 底板1,所述底板1表面开设有中心对称分布,且相互错位的一对安装槽11; 一对导轨2,平行设置在所述底板1上,并且各自位于对应所述安装槽11的外侧,使两个所述安装槽11位于一对所述导轨2之间; 一对夹爪组件3,分别设置在沿所述导轨2长度方向的两端,其运动轨迹覆盖对应所述安装槽11的区间; 驱动装置4,所述驱动装置4包括线圈41和磁钢42,所述线圈41置于所述安装槽11内,所述磁钢42安装在所述夹爪组件3与所述线圈41相邻的一侧上; 一对栅尺5,均通过固定板51分别安装在所述夹爪组件3上,并且与所述线圈41相对应设置。
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