国芯半导体(仪征)有限公司曾东林获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片炉的废气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223931060U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520298289.3，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型一种半导体硅外延片炉的废气处理装置是由曾东林;陈骏设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片炉的废气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体硅外延片炉的废气处理装置，包括阀体和分流管，所述阀体的一端对称设置有分流管，所述阀体的外部设置有收集箱，且收集箱与分流管相连接，所述收集箱的顶端安装有排气管，所述阀体的顶端活动设置有气缸，所述气缸的输出端安装有第一推臂，所述第一推臂远离气缸的一端设置有联动臂，所述联动臂靠近第一推臂的一端设置有联动轴，且联动臂通过联动轴与第一推臂活动连接，所述联动臂远离第一推臂的一端设置有活动轴。本实用新型不仅实现了便捷的往复摆动喷洒中和液均匀的中和废气中的酸碱物质，方便了对过滤网进行快速的更换和对设备进行不停机维护保养，而且提高了废气处理的效果和效率。
本实用新型一种半导体硅外延片炉的废气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅外延片炉的废气处理装置，包括阀体1和分流管7，其特征在于：所述阀体1的一端对称设置有分流管7，所述阀体1的外部设置有收集箱8，且收集箱8与分流管7相连接，所述收集箱8的顶端安装有排气管9，所述阀体1的顶端活动设置有气缸2，所述气缸2的输出端安装有第一推臂3，所述第一推臂3远离气缸2的一端设置有联动臂5，所述联动臂5靠近第一推臂3的一端设置有联动轴4，且联动臂5通过联动轴4与第一推臂3活动连接，所述联动臂5远离第一推臂3的一端设置有活动轴6，且活动轴6延伸至阀体1的内部并与阀体1活动连接，所述活动轴6的表面安装有阀板10，且阀板10与阀体1滑动连接。
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