沈阳百举捷科学仪器有限公司王婷婷获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳百举捷科学仪器有限公司申请的专利一种反应离子刻蚀机废气处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223930949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520428723.5，技术领域涉及：B01D46/30；该实用新型一种反应离子刻蚀机废气处理设备是由王婷婷;王丽丽设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应离子刻蚀机废气处理设备在说明书摘要公布了：一种反应离子刻蚀机废气处理设备，属于刻蚀机领域。外壳的侧面设有进气口和出气口；进气口上设有引风机；外壳的内部固定连接有隔离盒；外壳的侧面设有与隔离盒连通的穿孔；隔离盒的侧面顶端固定连接有分隔板Ⅰ，分隔板Ⅰ的另一端固定连接在外壳的内壁上；隔离盒的顶端中心设有进气孔，隔离盒的底端中心设有出气孔Ⅰ，出气孔的两侧设有出气孔Ⅱ；分隔板Ⅱ上设有通孔Ⅰ，隔离盒的侧面顶端设有通孔Ⅱ；出气孔Ⅰ通过管与通孔Ⅰ连通；隔离盒的内部固定连接有垂直于穿孔的多排密封板；隔离盒内设有抽送盒。本实用新型不仅便于更换滤材，而且在对废气进行净化时，可以过滤两遍，保证净化后的废气符合标准。
本实用新型一种反应离子刻蚀机废气处理设备在权利要求书中公布了：1.一种反应离子刻蚀机废气处理设备，其特征在于：包括外壳1；所述外壳1的侧面设有进气口3和出气口13；所述进气口3上设有引风机4；所述外壳1的内部固定连接有隔离盒5；所述外壳1的侧面设有与隔离盒5连通的穿孔16；所述隔离盒5的侧面顶端固定连接有分隔板Ⅰ2，分隔板Ⅰ2的另一端固定连接在外壳1的内壁上；所述隔离盒5的侧面底端固定连接有分隔板Ⅱ10，分隔板Ⅱ10的另一端固定连接在外壳1的内壁上；所述隔离盒5的顶端中心设有进气孔6，隔离盒5的底端中心设有出气孔Ⅰ15，出气孔Ⅰ15的两侧设有出气孔Ⅱ14；所述分隔板Ⅱ10上设有通孔Ⅰ11，隔离盒5的侧面顶端设有通孔Ⅱ7；所述出气孔Ⅰ15通过管12与通孔Ⅰ11连通；所述隔离盒5的内部固定连接有垂直于穿孔16的多排密封板9；所述隔离盒5内设有抽送盒8。
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