中国科学院上海技术物理研究所王旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121398439B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511935715.0,技术领域涉及:H10N19/00;该发明授权一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法是由王旭东;刘大川;吴斌民;伍帅琴;林铁;沈宏;孟祥建;褚君浩;王建禄设计研发完成,并于2025-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体光电器件工艺技术领域,尤其涉及一种石墨烯‑钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法。该红外探测器包括衬底、钽酸锂薄膜、石墨烯层、源金属电极、漏金属电极和钝化层;其中钽酸锂薄膜位于衬底上;源金属电极和漏金属电极设置在所述钽酸锂薄膜上,在源金属电极和漏金属电极之间的钽酸锂薄膜上设置有石墨烯层,在石墨烯层上设置有钝化层。本发明通过在钽酸锂薄膜上引入石墨烯构成铁电场效应晶体管结构,构建了“硅衬底‑钽酸锂薄膜‑石墨烯通道”的垂直异质结构,利用石墨烯的优异导电性和钽酸锂的热释电特性,显著提升探测器的信号读出与放大能力和热释电响应特性,成功制备出具有高灵敏度和快速响应能力的红外探测单元器件。
本发明授权一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种石墨烯-钽酸锂晶体管长波红外探测器,其特征在于,所述红外探测器包括衬底、钽酸锂薄膜、石墨烯层、源金属电极、漏金属电极和钝化层; 其中,所述钽酸锂薄膜位于所述衬底上;所述源金属电极和所述漏金属电极设置在所述钽酸锂薄膜上,在所述源金属电极和所述漏金属电极之间的钽酸锂薄膜上设置有所述石墨烯层,在所述石墨烯层上设置有钝化层。
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