上海车仪田科技有限公司张南南获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种用于半导体工艺气路的监测控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121386692B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511960968.3，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权一种用于半导体工艺气路的监测控制方法及系统是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体工艺气路的监测控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体工艺气路的监测控制方法及系统，涉及半导体气体浓度检测领域，包括以下步骤：将一测量仪器设置于气体混合器下游且工艺腔室上游；对流道气体进行顺流与逆流时间检测，并对声速和流量补偿，然后浓度反演以获得混合气体的实际浓度值与总流量；将实际浓度值与预设目标浓度进行比对，得到浓度偏差，根据浓度偏差调节工艺气路上游的至少一个支路的流量控制阀的开度；将总流量与上游所有支路的流量设定值之和进行实时比对，当偏差超出预设误差时，触发安全联锁。采用上述方案，在不接触工艺气体的前提下，实现对混合后工艺气体的浓度与总流量的测量，以及进入工艺腔室气体的闭环控制与冗余安全校验。
本发明授权一种用于半导体工艺气路的监测控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺气路的监测控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 将一测量仪器通过接口串联设置于工艺气路的气体混合器下游且工艺腔室上游的位置，其中所述测量仪器包括流道、外夹式超声波时差测量模块、温度传感单元以及压力传感单元； 利用所述外夹式超声波时差测量模块对所述流道内的混合气体进行顺流与逆流传播时间的检测，并结合所述温度传感单元与压力传感单元获取的温度与压力参数，对声速和流量进行补偿，并基于补偿后的声速进行浓度反演以同时获得混合气体的实际浓度值X与总流量Q； 将所述实际浓度值X与预设目标浓度Y进行比对，得到浓度偏差，根据所述浓度偏差调节工艺气路上游的至少一个支路的流量控制阀的开度，以使进入工艺腔室的混合气体浓度维持在所述目标浓度Y； 将所述总流量Q与上游所有支路的流量设定值之和∑Q进行实时比对，当偏差超出预设误差阈值时，触发安全联锁。
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