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龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种可变直径的晶圆吸盘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121368374B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511938965.X，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种可变直径的晶圆吸盘装置是由史庆飞;许志彬设计研发完成，并于2025-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可变直径的晶圆吸盘装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可变直径的晶圆吸盘装置，属于半导体制造设备技术领域。该装置包括机架、吸盘调节机构和边缘检测机构。吸盘调节机构设于机架上，其核心在于包括旋转电机、由旋转电机驱动水平旋转的转动盘、高度调节机构以及吸盘组件。旋转电机固定于机架底部或中心，其输出轴连接转动盘中心以传递旋转运动。高度调节机构设于转动盘上，包括直线电机、推杆及由导柱和导筒构成的限位机构，直线电机通过推杆连接吸盘组件，导柱滑动设于导筒内以约束吸盘仅垂直移动。吸盘组件采用同心嵌套布局，包含直径依次增大的吸盘一、吸盘二和吸盘三。本发明通过可独立升降的多级吸盘结构，实现了单一装置对多种尺寸晶圆的快速、稳定适配。

本发明授权一种可变直径的晶圆吸盘装置在权利要求书中公布了：1.一种可变直径的晶圆吸盘装置，其特征在于，包括吸盘调节机构、机架和边缘检测机构； 吸盘调节机构设置在机架上，吸盘调节机构包括作为动力源的旋转电机、由旋转电机驱动进行水平旋转的转动盘、用于实现垂直方向高度调节的高度调节机构以及用于直接承载晶圆的吸盘组件；旋转电机固定安装在机架的底部或中心位置，其输出轴向上延伸并与转动盘的中心部位固定连接，从而能够将旋转运动精确地传递给转动盘； 高度调节机构设置在转动盘的上表面，其包括作为直线驱动源的直线电机、将直线电机动力传递至吸盘的推杆以及确保升降过程稳定性的限位机构，直线电机的底座固定于转动盘上，其输出端与推杆的下端连接，推杆的上端与吸盘组件的下表面连接； 限位机构由导柱和与之配套的导筒组成，导柱的上端固定连接在吸盘的下侧，导筒则竖直固定在转动盘上，导柱的下端可滑动地插入导筒的内腔中，形成滑动副，以约束吸盘仅在垂直方向上移动； 吸盘包括吸盘一、吸盘二和吸盘三，吸盘一的直径小于吸盘二的直径，吸盘二的直径小于吸盘三的直径；吸盘一、吸盘二和吸盘三采用同心嵌套或阶梯式布局，吸盘一位于吸盘二内侧，吸盘二位于吸盘三内侧。

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