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龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆夹持机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121358251B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511925016.8，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种晶圆夹持机构是由史庆飞;许志彬设计研发完成，并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆夹持机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆夹持机构，属于半导体制造装备技术领域。该晶圆夹持机构包括外部夹持机构、内部夹持机构和旋转转移晶圆机构。内部夹持机构将升降、偏转、俯仰和旋转四种运动功能集成于一体。其中，齿轮驱动电机通过齿轮齿条副驱动L形连杆轴轴向移动，再经连杆机构转换为转动轴的摆动，实现吸盘的俯仰调节；偏转电机通过同步带驱动翻转轴实现吸盘的偏转运动；旋转电机直接驱动吸盘旋转，Z轴移动模组则实现竖直方向的精确定位。外部夹持机构负责晶圆的承载与水平旋转，旋转转移机构实现晶圆在不同工位间的自动化转运。本发明解决了现有技术中功能割裂、空间利用率低及夹持稳定性不足的问题，能够同步实现晶圆的多自由度精密姿态调整。

本发明授权一种晶圆夹持机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持机构，包括外部夹持机构、内部夹持机构和旋转转移晶圆机构，其特征在于： 内部夹持机构包括： 固定支架，刚性安装在设备主基板上； Z轴移动模组二，竖直固定安装在固定支架上； 转接板二，与Z轴移动模组二的输出端固定连接； 偏转电机，固定于转接板二上，其输出轴通过同步带驱动翻转轴转动； 齿轮电机安装板和支架，分别固定连接在翻转轴的两端； 齿轮驱动电机，安装在齿轮电机安装板上，其输出轴的齿轮与齿条啮合； 连杆轴，设置为L形，其一端设有齿条，并穿过翻转轴的中空通孔，由齿轮驱动而沿轴向移动； 转动轴，其中部可转动地连接于支架的末端； 连杆，其两端分别与连杆轴的另一端以及转动轴的底部铰接； 旋转电机二，固定安装在转动轴的顶部；以及 吸盘一，与旋转电机二的输出轴连接，用于吸附晶圆； 其中，Z轴移动模组二驱动吸盘一进行Z向升降运动，偏转电机驱动吸盘一进行偏转运动，齿轮驱动电机通过齿轮、齿条、连杆轴和连杆驱动转动轴摆动，进而使吸盘一进行俯仰运动，旋转电机二驱动吸盘一进行旋转运动。

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