之江实验室马海祥获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利纳米缺陷的检测方法和检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121346654B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511893933.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权纳米缺陷的检测方法和检测系统是由马海祥;张子扬;赵行宇;冯甫设计研发完成，并于2025-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米缺陷的检测方法和检测系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种纳米缺陷的检测方法和检测系统，纳米缺陷的检测方法包括：生成纵向自旋偶极光场，纵向自旋偶极光场包括两个相反旋向的自旋光场，在测试光束的传播方向上，纵向自旋偶极光场由一个旋向的自旋光场逐渐演化为与之反向旋向的自旋光场，且纵向自旋偶极光场为均匀亮光斑；获取待测产品对纵向自旋偶极光场的散射光场；分离散射光场中两个不同旋向的自旋光场成分；确定两个不同旋向的自旋光场成分之间的差值与两个不同旋向的自旋光场总强度的比重；根据比重确定纳米缺陷的纵向位置。如此，对纳米缺陷的纵向位置的检测分辨率可以突破传统光学测量衍射极限的限制，实现纳米缺陷纵向位置的高精度测量。
本发明授权纳米缺陷的检测方法和检测系统在权利要求书中公布了：1.一种纳米缺陷的检测方法，其特征在于，用于确定待测产品的纳米缺陷的纵向位置，所述纵向位置为沿测试光束的传播方向的位置，所述方法包括： 生成纵向自旋偶极光场，所述纵向自旋偶极光场包括两个相反旋向的自旋光场，在所述测试光束的传播方向上，所述纵向自旋偶极光场由一个旋向的自旋光场逐渐演化为与之反向旋向的自旋光场，且所述纵向自旋偶极光场为均匀亮光斑； 获取所述待测产品对所述纵向自旋偶极光场的散射光场； 分离所述散射光场中两个不同旋向的自旋光场成分； 确定所述两个不同旋向的自旋光场成分之间的差值与两个不同旋向的自旋光场总强度的比重； 根据所述比重确定所述纳米缺陷的纵向位置。
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