深圳市圣柏林橡塑电子有限公司朱志林获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市圣柏林橡塑电子有限公司申请的专利一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121335480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511916202.5，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘是由朱志林设计研发完成，并于2025-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘在说明书摘要公布了：本申请涉及静电卡盘的技术领域，尤其涉及一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘。包括：在各待处理单层板上形成若干板间互联单元，得到待集成单层板；将同一集成对内的两个待集成单层板通过板间互联单元对位形成初始堆叠板；在板间互联单元处进行镀铜，对镀铜后的初始堆叠板进行热熔贴合，并对热熔贴合后板间互联单元所在的界面区域施加超声波能量，形成第一集成板；将所有第一集成板进行层叠，使相邻第一集成板之间的板间互联单元错位布置，随后进行热熔贴合形成第二集成板；将第二集成板热熔贴合于铝基板，依据预设接线定义完成电气连接制得目标静电卡盘。本申请可以实现静电卡盘更多的温区，进而提高了静电卡盘的温控精度。
本发明授权一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种多温区静电卡盘的制作方法，其特征在于，所述方法包括： 分别加工各待处理单层板，在各所述待处理单层板上形成若干环形阵列分布的板间互联单元，以得到多个待集成单层板； 将所有所述待集成单层板成对划分为多个集成对，将同一所述集成对内的两个待集成单层板通过所述板间互联单元对位，形成初始堆叠板； 在所述初始堆叠板中对齐的所述板间互联单元处进行镀铜，对镀铜后的所述初始堆叠板进行热熔贴合，并对热熔贴合后板间互联单元所在的界面区域施加超声波能量，形成第一集成板； 将所有所述第一集成板进行层叠，并使相邻所述第一集成板之间的所述板间互联单元错位布置，对层叠后的各第一集成板进行热熔贴合，形成第二集成板； 将所述第二集成板热熔贴合于铝基板，并依据预设接线定义完成电气连接，制得目标静电卡盘。
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