北京航空航天大学张紫辰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利激光开槽的方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121315489B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511863689.5，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权激光开槽的方法及系统是由张紫辰;彭谞睿;张喆;石海燕;张利;李进设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光开槽的方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光开槽的方法及系统，系统包括：激光光源、光学调制模块、晶圆移动模块和检测补偿模块；激光光源发射出的激光束通过光学调制模块照向晶圆移动模块上的晶圆；晶圆移动模块用于带动晶圆相对激光束移动；光学调制模块用于加载相位全息图；光学调制模块在初始时根据第二工艺参数加载相位全息图，第二工艺参数包括激光束的能量分布；检测补偿模块与光学调制模块通信连接，用于监测激光束在加工点位置处材料飞溅状况，以获得材料飞溅图像，根据材料飞溅图像，控制光学调制模块更新加载的相位全息图，以使激光束在晶圆上开设的槽满足加工要求，加工点为激光束照射在晶圆上的点。本发明能够提高激光束对晶圆进行开槽的质量。
本发明授权激光开槽的方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种激光开槽的系统，其特征在于，所述系统包括：激光光源、光学调制模块、晶圆移动模块和检测补偿模块； 所述激光光源用于发射出激光束；所述激光光源发射出的激光束通过所述光学调制模块照向所述晶圆移动模块上的晶圆； 所述晶圆移动模块用于装载晶圆，并带动晶圆相对激光束移动，以使激光束在晶圆表面进行开槽； 所述光学调制模块用于加载相位全息图，以通过所述相位全息图对激光束的能量分布进行调整；所述光学调制模块在初始时根据第二工艺参数加载所述相位全息图，所述第二工艺参数包括激光束的能量分布，所述第二工艺参数由加工要求确定； 所述检测补偿模块与所述光学调制模块通信连接，用于监测激光束在对晶圆开槽过程中，加工点位置处材料飞溅状况，以获得材料飞溅图像，根据所述材料飞溅图像，控制所述光学调制模块更新加载的相位全息图，以使激光束在晶圆上开设的槽满足加工要求，所述加工点为激光束照射在晶圆上的点。
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