中国科学技术大学曾长淦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种基于石墨烯的液氦温度工作的量子电压芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121285257B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511843372.5,技术领域涉及:H10N60/12;该发明授权一种基于石墨烯的液氦温度工作的量子电压芯片是由曾长淦;赵恒毅;李林;林志勇;范晓东设计研发完成,并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于石墨烯的液氦温度工作的量子电压芯片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于石墨烯的液氦温度工作的量子电压芯片,属于电学量子精密测量技术领域。包括SiSiO22衬底、制备于衬底上的约瑟夫森结单元以及微波天线。约瑟夫森结单元包括左、右TiNb超导电极以及位于其间的石墨烯单元,石墨烯单元为由下六方氮化硼绝缘层、石墨烯层和上六方氮化硼绝缘层构成的三明治结构。本发明通过优化超导电极与石墨烯的接触工艺和改进微波天线设计,显著提高器件工作温度,能在约4.2K的液氦温度下稳定工作,通过施加微波辐照输出精确的量子化电压信号,并可通过施加磁场输出量子化电阻信号。本发明解决了现有石墨烯约瑟夫森结工作温度过低的问题,降低了系统功耗与对制冷设备的依赖,为集成多参量量子计量芯片提供了基础。
本发明授权一种基于石墨烯的液氦温度工作的量子电压芯片在权利要求书中公布了:1.一种基于石墨烯的液氦温度量子电压芯片,其特征在于,包括: SiSiO2衬底; 约瑟夫森结单元,制备于所述SiSiO2衬底上; 微波天线,用于向所述约瑟夫森结单元辐射微波信号; 所述约瑟夫森结单元包括左超导电极、右超导电极以及设置在左、右超导电极之间的石墨烯单元; 所述石墨烯单元为从下至上的三明治结构,依次包括下六方氮化硼绝缘层、石墨烯层和上六方氮化硼绝缘层; 所述左超导电极和右超导电极均为TiNb复合超导电极,其中与所述石墨烯单元接触的底层为Ti层,上层为Nb层; 所述微波天线通过电子束曝光和磁控溅射工艺集成制作在所述SiSiO2衬底上,并与所述约瑟夫森结单元相邻设置,用于接收外部微波源信号并向约瑟夫森结单元进行辐照; 所述芯片在液氦温度环境下工作时的稳定温度范围为3.5K-4.5K,且当施加频率为5-10GHz的微波信号时,量子化电压平台的输出电压值与理论值的偏差小于1%,其中为整数,为普朗克常数,为基本电荷量,为微波频率。
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