北京航空航天大学石海燕获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利激光加工装置及激光加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121267346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511863716.9,技术领域涉及:B23K26/00;该发明授权激光加工装置及激光加工方法是由石海燕;彭谞睿;张紫辰;张喆;李进;张利;李俊斌;李澳设计研发完成,并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置及激光加工方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种激光加工装置及激光加工方法,包括:激光器,用于发射激光;光学系统,包括准直镜、整形镜和聚焦镜,激光经准直镜准直放大后,入射到整形镜,整形镜将入射的激光由高斯光斑转变为平顶光斑,通过移动聚焦镜的位置,使平顶光斑位于键合界面;位移台系统,包括纵向位移台和水平位移台,纵向位移台用于带动聚焦镜同步移动,使平顶光斑位于键合界面;水平位移台用于带动异质键合材料同步移动,以实现平顶光斑对整个键合界面进行扫描;原位观测系统,用于在至少一个测高点得到表面和键合界面的光斑图像;加工控制系统,用于根据测高点的光斑图像,得到聚焦镜的移动距离,从而调节聚焦镜的位置。本申请能够实现键合界面优化。
本发明授权激光加工装置及激光加工方法在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,其特征在于,所述激光加工装置用于实现异质键合材料的键合界面优化,包括: 激光器,用于发射激光,所述激光可透过异质键合材料的其中一层; 光学系统,包括准直镜、整形镜和聚焦镜,所述激光器发射的激光经所述准直镜准直放大后,入射到所述整形镜,所述整形镜将入射的激光由高斯光斑转变为平顶光斑,通过移动所述聚焦镜的位置,使所述平顶光斑位于所述键合界面; 位移台系统,包括纵向位移台和水平位移台,所述纵向位移台与所述聚焦镜固定连接,用于每次上料之后,在垂直于所述异质键合材料表面的方向上移动,带动所述聚焦镜同步移动,使所述平顶光斑位于所述键合界面;所述水平位移台用于放置所述异质键合材料,在水平方向上移动,带动所述异质键合材料同步移动,以实现平顶光斑对整个键合界面进行扫描; 原位观测系统,用于在至少一个测高点得到表面和键合界面的光斑图像,所述原位观测系统包括白光光源和成像器件,通过所述白光光源和所述成像器件以设定的采样间隔得到多个测高点的光斑图像,所述白光光源射出的白光一部分在所述异质键合材料表面处反射,被所述成像器件接收后得到第一光斑图像;一部分白光透过异质键合材料的其中一层,在键合界面处反射,被所述成像器件接收后得到第二光斑图像; 加工控制系统,用于根据所述第一光斑图像,计算测高点的表面高度;还用于根据所述第二光斑图像,计算测高点的键合界面高度,进一步根据表面高度和键合界面高度,计算所述聚焦镜的移动距离,根据所述聚焦镜的移动距离控制所述纵向位移台的移动; 所述聚焦镜的移动距离满足表达式: ΔZ=WD-[n·Z0–Z1+Z1],其中ΔZ为所述聚焦镜的移动距离,WD为聚焦镜的工作距离,n为所述激光器发射的激光透过的一层材料的折射率,Z0为所述测高点的键合界面高度,Z1为所述测高点的表面高度,ΔZ为正数代表远离表面方向移动,ΔZ为负数代表靠近表面方向移动。
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