湖南艾科威半导体装备有限公司王真获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉湖南艾科威半导体装备有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121228187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511783412.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具是由王真;田杰成设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具在说明书摘要公布了：本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具，包括同轴线的工具座盘、探针节和探针头；工具座盘呈圆盘形；探针头的一端呈锥形，并通过若干探针节与工具座的中心相连；工具座盘可拆卸的安装到磁控溅射镀膜机的溅射靶头的溅射阴极靶材时，探针头和探针节均位于溅射靶头的溅射镀膜区域中轴线路径上；以便于对溅射镀膜区域调节时的参照。本方案中的调整工具能够在溅射靶头的位置和朝向进行调节的阶段进行位置参照，从而方便于工作人员通过探针头在基台上的指向位置，判断溅射靶头在使用时的溅射镀膜区域的位置，有利于提高溅射靶头位置调节时的准度和效率，降低对工作人员经验的要求。
本发明授权一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机的均匀性调整工具，其特征在于：包括同轴线的工具座盘201、探针节202和探针头203；工具座盘201呈圆盘形；探针头203的一端呈锥形，并通过若干探针节202与工具座的中心相连； 磁控溅射镀膜机包括溅射靶头3、位置调节机构和基台1；位置调节机构安装在磁控溅射镀膜机的真空腔体的腔壁上；所述溅射靶头3安装在位置调节机构上，并由位置调节机构进行俯仰角度和上下高度的调节；所述基台1水平布置于磁控溅射镀膜机的真空腔体内，并用于放置晶圆片；溅射靶头3的溅射镀膜区域在基台1上的投射点位于基台的指定位置； 所述工具座盘201可拆卸的安装到溅射靶头3的溅射阴极靶材时，探针头203和探针节202均位于溅射靶头3的溅射镀膜区域中轴线路径上；在磁控溅射镀膜机调试阶段，通过探针头203在基台1上的指向位置的调节，为溅射镀膜区域调节提供位置参照。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖南艾科威半导体装备有限公司，其通讯地址为：410000 湖南省长沙市望城经济技术开发区普瑞西路金荣望城科技产业园厂房一期第C5栋三层301号房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励