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龙图腾网获悉唐山三孚电子材料有限公司申请的专利电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121225601B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511784054.6，技术领域涉及：C01B33/107；该发明授权电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统是由戴帅;王海兴;李国庆;刘经纬;李爱东;冯冬冬设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统，属于尾气处理领域，包括：将含有二氯二氢硅与氦气的尾气经过滤后去除固体颗粒杂质；利用二氯二氢硅与氦气沸点的差异，将去除固体颗粒杂质后的尾气经多级气液分离冷凝，得到液态的二氯二氢硅和初步分离的气态氦气；初步分离的气态氦气经多级吸附后，去除氦气中残留的有机杂质和无机杂质；将去除杂质的氦气经多级膜分离提纯，去除残留的杂质，得到高纯氦气。本发明能够实现尾气的无害化处理，最大程度减少尾气排放，降低能耗和环境污染；同时，回收尾气中的有用物质，将氦气提纯至可再次用于电子级产品生产的纯度标准，达到资源循环利用的目的，降低生产成本，提高企业的经济效益。

本发明授权电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统在权利要求书中公布了：1.一种电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括： 将含有二氯二氢硅与氦气的尾气经过滤后去除固体颗粒杂质； 利用二氯二氢硅与氦气沸点的差异，将去除固体颗粒杂质后的尾气经多级气液分离冷凝，得到液态的二氯二氢硅和初步分离的气态氦气； 初步分离的气态氦气经多级吸附后，去除氦气中残留的有机杂质和无机杂质； 将去除杂质的氦气经多级膜分离，去除残留的杂质，得到高纯氦气； 所述将去除固体颗粒杂质后的尾气经多级气液分离冷凝，得到液态的二氯二氢硅和初步分离的气态氦气，包括： 将去除固体颗粒杂质后的尾气送入一级气液分离器4，降温至-30℃，得到液态二氯二氢硅，送入第一收集罐11存储； 经一级气液分离器4分离后的尾气进入二级气液分离器5，降温至-50℃，再次气液分离，得到的液态二氯二氢硅送入第二收集罐12储存； 所述初步分离的气态氦气经多级吸附，包括： 将保持气态的氦气进入多级吸附塔6，分级去除有机杂质和无机杂质； 其中，所述多级吸附塔6内自下至上依次填充有3A分子筛、改性活性炭层及活性炭纤维，所述活性炭纤维用于吸附氦气中残留的有机杂质；所述改性活性炭用于吸附氦气中的部分无机杂质；所述3A分子筛用于去除无机杂质中的碳、水小分子杂质，实现将氦气中的二氧化碳及水分处理至＜0.5ppm； 所述将去除杂质的氦气经多级膜分离，包括： 去除杂质的氦气进入一级膜分离器7进行粗分离，分离出氦气中的大部分氮气和有机杂质中的碳氢化合物； 一级膜分离器7分离后的氦气经压缩机8增压后进入二级膜分离器9精制提纯，分离出氦气中残留的杂质气体，得到高纯氦气。

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