深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121049293B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511599209.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法是由陈鲁;张鹏斌;梁文军;盛浩;杨楠;刘健鹏设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法在说明书摘要公布了：本申请提供的一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法，通过设置于信号光被接收至成像单元的光路中的成像数值孔径调节装置根据待检测晶圆边缘上的感兴趣区域调整成像数值孔径，以实现成像景深的调整，该技术方案通过引入可调节的孔径装置，通过孔径装置控制成像数值孔径，利用成像数值孔径主要决定极限分辨率与景深的物理原理，将传统光学系统中固定的数值孔径变为一个可动态优化的变量，通过简单的机械调节实现了复杂的性能切换，可以根据检测要求实现高分辨率检测或者大景深扫描，增强光学系统的应用范围和适应性。
本发明授权一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘缺陷检测光学系统，其特征在于，包括照明单元及成像单元； 所述照明单元提供的入射光照射至待检测晶圆边缘并通过正投影产生信号光； 所述成像单元接收从所述晶圆边缘对射过来的所述信号光并进行成像；其中： 所述信号光被接收至所述成像单元的光路中设置的成像数值孔径调节装置，所述成像数值孔径调节装置根据所述待检测晶圆边缘上的感兴趣区域调整成像数值孔径，以实现成像景深的调整； 所述照明单元包括LED光源和组成科勒照明系统的第一透镜组、第二透镜组及第三透镜组；所述LED光源出射的光束依次经所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组后形成的入射光照射至待检测晶圆边缘； 所述成像单元包括采用物方远心设计的第四透镜组及采用像方远心设计的第五透镜组；所述信号光依次经所述第四透镜组、所述成像数值孔径调节装置、所述第五透镜组后进行成像；所述第四透镜组及第五透镜组与所述第三透镜组及所述第二透镜组分别完全一样且与所述待检测晶圆分别对称放置。
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