湖南顶立科技股份有限公司刘志坚获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南顶立科技股份有限公司申请的专利化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121046818B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511553518.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法是由刘志坚;林源;戴煜;张池澜;段巨祥;王艳艳;戴斌;刘喆;戴劲设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法。该系统包括内壁均设有保温层且串联连接的前驱体罐、一级缓冲罐和二级缓冲罐，其中，前驱体罐内通过添加导热惰性材料改善前驱体TaCl55粉末的导热均匀性，实现稳定升华；一级缓冲罐内设导流堰实现气相稳流；二级缓冲罐内设蜂窝状导流芯以均流稳压。本发明解决了现有技术中TaCl55粉末升华不均、气流脉动大、混合效率低等问题，实现了气流波动≤5%的稳定输送，从而为后续获得厚度均匀的高致密TaC涂层、提高TaC涂层质量和沉积效率提供了前提保障。
本发明授权化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法在权利要求书中公布了：1.化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统，其特征在于，包括内壁均设有保温层的前驱体罐100、一级缓冲罐200、二级缓冲罐300和输送管路400，所述前驱体罐100、一级缓冲罐200和二级缓冲罐300的通过输送管路400依次连通，其中： 前驱体罐100外侧设置有环绕式加热装置110，其包括依次贯通的进料升华段120、气流缓冲段130和气流稳流段140，进料升华段120内填充有导热惰性材料用于提高外部前驱体原料导热性，气流缓冲段130与气流稳流段140连接处设置有用于降低气流波动的第一均流盘150，进料升华段120和气流缓冲段130的连接处设置有用于降低升华气体气流波动的第二均流盘160； 一级缓冲罐200的出口端设置有用于降低截面流速不均度的导流堰210； 二级缓冲罐300内部设置有用于气体均流稳压的蜂窝状导流芯310。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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