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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018325B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511550941.7，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;赵莹;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本发明提供晶圆减薄设备和减薄方法，所述方法包括：获取晶圆减薄过程中砂轮的当前周期的磨削力参数和速度参数；其中，当前周期的磨削力参数具有对应的延迟参数；基于速度参数进行补偿因子计算，获得补偿因子；基于当前周期的前两个周期的预测磨削力参数以及采样周期，获得当前周期的磨削力参数的变化率；当前周期的磨削力参数的变化率用于修正当前周期的磨削力参数采样延迟导致的磨削力参数失真；将当前周期的磨削力参数、当前周期的磨削力参数的变化率、延迟参数、补偿因子输入磨削力参数预测模型，获得当前周期的预测磨削力参数以减少磨削力参数的失真。本发明实施例提供的晶圆减薄设备和晶圆减薄方法，提高了磨削力检测的准确性。

本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄方法，其特征在于，包括： 获取晶圆减薄过程中砂轮的当前周期的磨削力参数和速度参数；其中，所述当前周期的磨削力参数具有对应的延迟参数； 基于所述速度参数进行补偿因子计算，获得补偿因子；其中，所述补偿因子用于修正速度参数导致的磨削力参数的非线性变化； 基于当前周期的前两个周期的预测磨削力参数以及采样周期，获得当前周期的磨削力参数的变化率；当前周期的磨削力参数的变化率用于修正当前周期的磨削力参数采样延迟导致的磨削力参数失真； 将当前周期的磨削力参数、当前周期的磨削力参数的变化率、所述延迟参数、所述补偿因子输入磨削力参数预测模型，获得当前周期的预测磨削力参数以减少磨削力参数的失真； 其中，所述磨削力参数预测模型为：F_predk=[Fk+dFkdtkL]factork，其中，F_predk表示当前周期的预测磨削力参数，Fk表示当前周期的磨削力参数，dFkdtk表示当前周期的磨削力参数的变化率，L表示所述延迟参数，factork表示补偿因子。

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