买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州海杰兴科技股份有限公司申请的专利一种晶圆背切视觉定位系统及定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120862122B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511362900.5，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种晶圆背切视觉定位系统及定位方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆背切视觉定位系统及定位方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆背切视觉定位系统及定位方法。包括移动平台、旋转定位机构、棱镜组件、取像机构、激光发生器；所述移动平台上设置有旋转定位机构、棱镜组件，旋转定位机构外围周向布置有棱镜组件；所述棱镜组件包括棱镜模块，棱镜模块在X轴、Y轴和Z轴方向上移动；所述旋转定位机构包括旋转电机、陶瓷吸盘，旋转电机输出端设置有陶瓷吸盘，陶瓷吸盘在周向上均匀设置有视觉避让孔；所述取像机构包括高倍相机、背对位相机，棱镜模块两端分别与视觉避让孔、背对位相机相对设置，高倍相机用于拍摄晶圆背面图像，背对位相机通过棱镜模块拍摄晶圆正面图像并获得该图像中心坐标。本发明对晶圆背面待切割的切割道进行定位。

本发明授权一种晶圆背切视觉定位系统及定位方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背切视觉定位系统的定位方法，其系统包括移动平台、旋转定位机构、棱镜组件、取像机构、激光发生器；所述取像机构、激光发生器设置在支架上，所述移动平台上设置有旋转定位机构、棱镜组件，旋转定位机构外围周向布置有棱镜组件；所述移动平台在X轴和Y轴方向上移动；所述棱镜组件包括棱镜模块，棱镜模块在X轴、Y轴和Z轴方向上移动；所述旋转定位机构包括旋转电机、陶瓷吸盘，旋转电机设置在移动平台内，旋转电机输出端设置有陶瓷吸盘，陶瓷吸盘与外部真空设备连接，陶瓷吸盘在周向上均匀设置有视觉避让孔；所述取像机构包括高倍相机、背对位相机，背对位相机位于高倍相机外侧，棱镜模块两端分别与视觉避让孔、背对位相机相对设置，高倍相机用于拍摄晶圆背面图像，背对位相机通过棱镜模块拍摄晶圆正面图像并获得该图像中心坐标； 其步骤为：1校准棱镜组件；校准步骤为：a1将半片带直角边缘的裸硅片背面朝上放置在陶瓷吸盘上，移动平台带动棱镜模块移动至背对位相机下方，调整棱镜模块在Z轴方向上的位置，使背对位相机在视觉避让孔位置能够透过棱镜模块看清裸硅片的直角位置； a2裸硅片的直角边缘在两个相对的视觉避让孔上形成晶圆直线，高倍相机对晶圆直线进行拍摄，计算晶圆直线与经过陶瓷吸盘圆心的水平线之间的夹角，旋转电机根据夹角带动陶瓷吸盘旋转，将晶圆直线拉直； a3移动平台带动晶圆直线两端对应的棱镜模块分别移动到背对位相机下方，背对位相机通过棱镜模块查看对应位置的晶圆直线，调整棱镜模块在X轴和Y轴方向的位置，使背对位相机图像中心始终在晶圆直线上； a4采用a3的方法校准其余棱镜模块在X轴和Y轴方向的位置； 2标定视觉避让孔位置的高倍相机位置坐标和背对位相机位置坐标；标定方法为：b1将半片带直角边缘的裸硅片背面朝上放置在陶瓷吸盘上，直角位置位于对应的视觉避让孔中心位置； b2移动平台带动裸硅片移动，当直角位置移动到高倍相机图像中心时停止，记录此时移动平台在X轴和Y轴移动的距离作为该视觉避让孔位置标定的高倍相机位置坐标； b3移动平台带动棱镜模块移动到背对位相机下方，切换到背对位相机，背对位相机通过棱镜模块查看直角位置，记录此时移动平台在X轴和Y轴移动的距离作为该视觉避让孔位置标定的背对位相机位置坐标； 3将待加工晶圆背面朝上放置在陶瓷吸盘上，移动平台带动棱镜组件在X轴方向和Y轴方向移动，当出射口移动至背对位相机下方，背对位相机通过棱镜模块查看到对应视觉避让孔时，记录此时移动平台在X轴方向和Y轴方向移动的距离作为该视觉避让孔的背对位相机图像中心坐标，根据步骤2标定的该视觉避让孔的高倍相机位置坐标和背对位相机位置坐标，计算出该视觉避让孔的高倍相机图像中心坐标； 4根据步骤3中计算得到的视觉避让孔的高倍相机图像中心坐标，计算视觉避让孔的高倍相机图像中心坐标的连线与Y轴的夹角，旋转电机根据夹角带动晶圆转动，直至夹角的角度在误差范围内为止，晶圆背面待切割的切割道被拉直； 5激光发生器对晶圆背面的切割道进行激光切割。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州海杰兴科技股份有限公司，其通讯地址为：215100 江苏省苏州市虎丘区高新区泰山路688号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。