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深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测系统及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120820548B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511317785.X,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种检测系统及检测方法是由陈鲁;黄有为;张龙;赵康俊;朱燕明设计研发完成,并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种检测系统及检测方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种检测系统及检测方法,检测系统包括载物平台、照明组件、多个探测通道,每个探测通道配置至少一个探测器,多个探测通道包括第一探测通道、第二探测通道、第三探测通道和第四探测通道。载物平台用于承载待测物。照明组件被配置为向待测物发射检测光束,检测光束经待测物散射形成至少一束信号光。多个探测通道被分别配置为成像式收集对应探测区出射的信号光,并根据信号光生成待测物的缺陷检测信息。共面的四个探测通道分居目标法线两侧形成对称分布,且入射面和探测面垂直,从而更加契合不同类型缺陷的散射光强的分布规律,使得检测系统针对不同类型缺陷均有更好的信号光收集效果,提高了检测的精度和灵敏度。

本发明授权一种检测系统及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种检测系统,其特征在于,所述检测系统包括载物平台、照明组件、多个探测通道,所述多个探测通道位于同一探测面,每个所述探测通道配置至少一个探测器,所述多个探测通道包括第一探测通道、第二探测通道、第三探测通道和第四探测通道; 所述载物平台用于承载待测物,所述待测物的目标法线垂直穿过所述载物平台; 所述照明组件被配置为向所述待测物发射检测光束,所述检测光束经所述待测物散射形成至少一束信号光; 所述多个探测通道被分别配置为成像式收集对应探测区出射的所述信号光,并根据所述信号光生成所述待测物的缺陷检测信息; 其中,所述第一探测通道和所述第二探测通道具有钝角夹角,所述第三探测通道和所述第四探测通道具有锐角夹角,所述第一探测通道与所述第二探测通道关于所述目标法线对称分布,所述第三探测通道与所述第四探测通道关于所述目标法线对称分布,入射面与所述探测面垂直,所述入射面为所述检测光束的光轴与所述目标法线组成的平面; 所述检测系统用于获取所述第一探测通道收集的第一信号光、所述第二探测通道收集的第二信号光、所述第三探测通道收集的第三信号光,和所述第四探测通道收集的第四信号光; 所述检测系统用于根据窄通道信号强度与宽通道信号强度的比值,和补偿参数,确定窄通道与宽通道的信号强度比,所述第三信号光与所述第四信号光的信号强度之和形成窄通道信号强度,所述第一信号光与所述第二信号光的信号强度之和形成宽通道信号强度,所述补偿参数用于对所述信号强度比进行补偿; 所述检测系统根据所述信号强度比生成缺陷检测信息: 若所述信号强度比大于信号强度比阈值,则生成用于指示目标缺陷为凹坑类缺陷的缺陷检测信息; 若所述信号强度比小于所述信号强度比阈值,则生成用于指示所述目标缺陷为凸起类缺陷的缺陷检测信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518110 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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