中科(深圳)无线半导体有限公司陈梅芹获国家专利权
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龙图腾网获悉中科(深圳)无线半导体有限公司申请的专利一种Micro LED的GaN集成器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120730911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511152060.X,技术领域涉及:H10H29/32;该发明授权一种Micro LED的GaN集成器件及其制备方法是由陈梅芹;麻胜恒;汪连山;陈福鑫;赵柏聿设计研发完成,并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Micro LED的GaN集成器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MicroLED的GaN集成器件及其制备方法,包括衬底;配置在所述衬底上的HEMT外延结构,形成电连接的多个HEMT器件,所述多个HEMT器件包括驱动HEMTDT1、参考HEMTDT2以及四个开关HEMTTS1、TS2、TS3和TS4;配置在所述HEMT外延结构之上的LED外延结构,构成LED发光单元,所述LED发光单元的n电极与开关HEMTTS3的漏极和开关HEMTTS4的源极相连;以及配置在所述HEMT外延结构之上的存储电容Cst。所述制备方法包括在同一衬底上依次制作HEMT外延结构和LED外延结构,并制作相应的电极、凹槽电容结构、钝化层和金属互联层。本发明通过集成化设计,实现精确恒流驱动、高速开关和低残影显示,同时简化结构,避免互连损耗,提升系统响应速度和能效,并减小器件体积。
本发明授权一种Micro LED的GaN集成器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种MicroLED的GaN集成器件,其特征在于,包括: 一个衬底; 配置在所述衬底上的HEMT外延结构,形成电连接的多个HEMT器件,所述多个HEMT器件包括驱动HEMTDT1、参考HEMTDT2以及四个开关HEMTTS1、TS2、TS3和TS4; 配置在所述HEMT外延结构之上的LED外延结构,构成LED发光单元,所述LED发光单元的n电极与开关HEMTTS3的漏极和开关HEMTTS4的源极相连; 以及配置在所述HEMT外延结构之上的存储电容Cst,所述存储电容由具有凹槽结构的金属-绝缘体-金属电容构成; 其中,所述HEMT外延结构包括依次层叠的缓冲层、高阻层、沟道层、势垒层、P-GaN层和栅介质层,并相应配置源极、漏极和栅极;所述LED外延结构位于所述HEMT外延结构的势垒层上; 所述驱动HEMTDT1通过调节栅极电压Vg控制所述LED发光单元的电流,所述驱动HEMTDT1与LED发光单元串联,其栅极连接所述存储电容Cst、参考HEMTDT2的栅极和开关HEMTTS1的源极;其漏极连接开关HEMTTS3的源极;其源极接地; 所述参考HEMTDT2与所述驱动HEMTDT1构成电流镜结构,所述参考HEMTDT2的栅极连接所述存储电容Cst、驱动HEMTDT1的栅极和开关HEMTTS1的源极;其漏极连接开关HEMTTS2的源极;其源极接地; 所述开关HEMTTS3作为所述LED发光单元的主控开关,直接串联在所述LED发光单元的驱动回路中,当其导通时,所述驱动HEMTDT1根据所述存储电容Cst中的Vg输出恒定电流点亮所述LED发光单元;关断时则切断所述LED发光单元的电流路径,实现快速熄灭; 所述开关HEMTTS4的漏极连接开关HEMTTS1的漏极,在所述LED发光单元关闭阶段立即导通,为LED发光单元的寄生电容提供低阻抗放电通路,快速泄放残留电荷; 所述开关HEMTTS1与开关HEMTTS2的栅极互相连接,构成预充电通路,开关HEMTTS2的源极连接参考HEMTDT2的漏极,在初始化阶段同步导通,用于增强预充电电流路径的驱动能力,加速调节栅极电压Vg的稳定过程; 所述驱动HEMTDT1和参考HEMTDT2的栅宽和栅长之比为100,所述四个开关HEMTTS1、TS2、TS3和TS4的栅宽和栅长之比为10。
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