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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120318181B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510395081.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置是由张龙;刘琦然;赵康俊;杜爽;吕肃;陈鲁设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆检测技术领域，具体提供一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置，对目标晶圆进行暗场拍摄，获取该晶圆的表面暗场散射图像，遍历暗场图像中的每一个像素，通过设定邻域和SNR估算计算形成SNR估计图，通过双阈值原理对SNR估计图进行全局阈值分割，获得低阈值二值图和高阈值二值图，遍历低阈值二值图中的连通区域，若连通区域内存在至少一个像素在高阈值二值图中被标记为缺陷，则将该连通区域内所有像素标记为真实缺陷，否则标记为伪缺陷。本发明在背景噪声较大动态范围、缺陷像素数量较少、缺陷信号较弱等条件下，仍能稳定检出缺陷和缺陷轮廓。

本发明授权一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面污染缺陷检出方法，其特征在于，包括： 对于晶圆暗场图像的SNR估计图，至少设定两个阈值分别对其进行分割，将灰度值大于阈值的像素标记为缺陷，其余像素标记为正常，形成多幅对应不同阈值的二值图； 所述SNR估计图的获取方法为： 遍历所述暗场图像上的每个像素，并选定包含该像素的n×n邻域或n×m邻域，计算每个像素的SNR估计值；所述SNR估计值的计算式为： ； 其中，表示像素的SNR估计值，表示暗场图像中像素的灰度值，表示像素邻域的背景噪声均值；表示像素邻域的背景噪声幅值，表示像素邻域的背景噪声最大值，表示像素邻域的背景噪声最小值； 将任意两个阈值进行组合； 在每个阈值组合中，遍历低阈值二值图中的连通区域，若连通区域内存在至少一个像素在高阈值二值图中被标记为缺陷，则将该连通区域内所有像素标记为真实缺陷，否则标记为伪缺陷； 设定两个阈值对所述SNR估计图进行分割时，低阈值二值图中被标记为真实缺陷的像素即为晶圆表面的缺陷； 设定多于两个阈值对所述SNR估计图进行分割时，每个阈值组合均标记获得一幅完成真实缺陷和伪缺陷标记的二值图；将所有阈值组合进行像素或运算，得到最终二值图，最终二值图中被标记为真实缺陷的像素即为晶圆表面的缺陷。

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