西安奕斯伟材料科技股份有限公司袁力军获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利一种评估衬底的变形性能的方法与装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786365B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411770056.5，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种评估衬底的变形性能的方法与装置是由袁力军;张婉婉;衡鹏;尚荔阳设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种评估衬底的变形性能的方法与装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种评估衬底的变形性能的方法与装置，该方法可以包括：在待测衬底表面沉积薄膜层后执行热处理，测量热处理后的待测衬底的形貌数据；将热处理后的待测衬底进行应力释放，测量应力释放完毕的待测衬底的形貌数据；根据热处理后的待测衬底的形貌数据以及应力释放完毕的待测衬底的形貌数据获取待测衬底的弹性变形量。
本发明授权一种评估衬底的变形性能的方法与装置在权利要求书中公布了：1.一种评估衬底的变形性能的方法，其特征在于，所述方法包括： 在待测衬底表面沉积薄膜层前，清洗所述待测衬底表面并测量所述待测衬底的原始形貌数据； 在待测衬底表面沉积薄膜层后执行热处理，测量热处理后的所述待测衬底的形貌数据； 将所述热处理后的所述待测衬底进行应力释放，测量应力释放完毕的所述待测衬底的形貌数据； 根据所述热处理后的所述待测衬底的形貌数据以及所述应力释放完毕的所述待测衬底的形貌数据获取所述待测衬底的弹性变形量； 其中，所述将所述热处理后的所述待测衬底进行应力释放，包括： 通过热水浴的方式将所述热处理后的所述待测衬底进行应力释放；或者，通过刻蚀所述热处理后的所述待测衬底的薄膜层以进行应力释放；或者，通过自然静置以将所述热处理后的所述待测衬底的应力进行释放； 所述根据所述热处理后的所述待测衬底的形貌数据以及所述应力释放完毕的所述待测衬底的形貌数据获取所述待测衬底的弹性变形量，包括： 获取所述热处理后的所述待测衬底的形貌数据与所述原始形貌数据之间的第一差值； 获取所述应力释放完毕的所述待测衬底的形貌数据与所述原始形貌数据之间的第二差值； 根据所述第一差值与所述第二差值获取所述待测衬底的弹性变形量。
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