安徽长飞先进半导体股份有限公司段玉旺获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽长飞先进半导体股份有限公司申请的专利一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119779918B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411801157.4，技术领域涉及：G01N11/02；该发明授权一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置是由段玉旺;刘伟;单涛;朱强;刘嘉乐;吴小燕设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置。绝缘液体流动性监测装置包括：流量监测模块和报警模块；所述流量监测模块与所述报警模块电连接，所述流量监测模块用于监测晶圆测试装置中绝缘液体管道内的绝缘液体的实际流量，并在所述实际流量小于第一设定阈值时控制所述报警模块发出报警提示。本发明提供了一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置，可以降低企业的经济损失，间接的增加企业收益。
本发明授权一种绝缘液体流动性监测装置及晶圆测试装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括绝缘液体管道、喷嘴、绝缘液体存储模块、测试台模块和绝缘液体流动性监测装置； 所述绝缘液体管道用于传输所述绝缘液体； 所述喷嘴用于将所述绝缘液体喷射到晶圆表面； 所述绝缘液体存储模块与所述绝缘液体管道连通，所述绝缘液体存储模块用于存储所述绝缘液体； 所述测试台模块用于承载所述晶圆； 所述绝缘液体流动性监测装置包括：流量监测模块和报警模块； 所述流量监测模块与所述报警模块电连接，所述流量监测模块用于监测晶圆测试装置中绝缘液体管道内的绝缘液体的实际流量，并在所述实际流量小于第一设定阈值时控制所述报警模块发出报警提示； 所述第一设定阈值根据所述绝缘液体管道内的气泡数确定。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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