瑞声开泰科技(武汉)有限公司张林欣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞声开泰科技(武汉)有限公司申请的专利MEMS控制器及MEMS器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119706731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411919144.7,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权MEMS控制器及MEMS器件是由张林欣;但强;李杨设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS控制器及MEMS器件在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种MEMS控制器及MEMS器件,包括:至少一个控制单元,控制单元包括:相邻的第一锚点结构之间具有第一间隙;悬臂梁结构与第一锚点结构相对应,且每一悬臂梁结构的第一端位于相应的第一锚点结构的顶面,同一控制单元的相邻两个悬臂梁结构的第二端正对且具有第二间隙;振膜覆盖两个第二锚点结构的顶面;封装结构包括依次连接的底板、侧板以及顶板;其中,底板上设有贯穿底板的第一流道口,第一流道口与控制单元相对应,第一流道口与相对应的控制单元的第一间隙相连通;顶板与悬臂梁结构及振膜的顶面相间隔,且顶板上设有贯穿顶板的第二流道口。可以控制流体单向流动。
本发明授权MEMS控制器及MEMS器件在权利要求书中公布了:1.一种MEMS控制器,其特征在于,包括: 至少一个控制单元,所述控制单元包括:两个第一锚点结构,相邻的所述第一锚点结构之间具有第一间隙,所述第一锚点结构具有相对的底面和顶面;悬臂梁结构,所述悬臂梁结构与所述第一锚点结构相对应,所述悬臂梁结构具有相对的第一端和第二端,且每一所述悬臂梁结构的第一端位于相应的所述第一锚点结构的顶面,同一所述控制单元的相邻两个所述悬臂梁结构的第二端正对且具有第二间隙;两个第二锚点结构,一所述第二锚点结构与一所述第一锚点结构接触,另一所述第二锚点结构位于该所述第二锚点结构远离所述第一锚点结构的一侧;振膜,所述振膜覆盖两个所述第二锚点结构的顶面;封装结构,所述封装结构包括依次连接的底板、侧板以及顶板,所述底板与所述顶板正对,且所述侧板连接所述底板与所述顶板; 其中,所述底板位于所述第一锚点结构及所述第二锚点结构的底面,且所述底板上设有贯穿所述底板的第一流道口,所述第一流道口与所述控制单元相对应,所述第一流道口与相对应的所述控制单元的所述第一间隙相连通;所述顶板与所述悬臂梁结构及所述振膜的顶面相间隔,且所述顶板上设有贯穿所述顶板的第二流道口,所述第二流道口与所述控制单元相对应。
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