安徽光智科技有限公司杨双喜获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利ZnSe基底2-5.5μm高透薄膜的设计方法以及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119471868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411530072.7,技术领域涉及:G02B1/115;该发明授权ZnSe基底2-5.5μm高透薄膜的设计方法以及制备方法是由杨双喜;戴亚洲;尹士平;刘克武;平凡;张海燕;毛文川;尉新星设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本ZnSe基底2-5.5μm高透薄膜的设计方法以及制备方法在说明书摘要公布了:提供一种ZnSe基底2‑5.5μm高透薄膜的设计方法以及制备方法。ZnSe基底2‑5.5μm高透薄膜的设计方法包括步骤:Sa,膜系设计以550nm作为光学薄膜设计的参考波长,使用膜堆公式:Sub0.6LHL^2MKAIR,Sub两面镀一样的膜系,其中,Sub是ZnSe基底,AIR代表空气,在膜堆表达式中:H代表14波长厚度的高折射率材料ZnSe硒化锌,L代表14波长厚度的低折射率材料YbF33氟化镱,K代表14波长厚度的保护层材料Al22O33氧化铝,M代表14波长厚度的连接层材料Y22O33氧化钇;Sb,通过输入的膜堆公式,生成以SubYbF33ZnSeYbF33ZnSeYbF33Y22O33Al22O33Air的膜层结构;Sc,通过薄膜设计软件对膜层厚度进行优化,得到最佳的膜层厚度,优化后的膜层结构在2‑5.5μm波段的透过率达到目标;Sd,将优化后的最佳的膜层厚度输入至镀膜机的控制电脑中。
本发明授权ZnSe基底2-5.5μm高透薄膜的设计方法以及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种ZnSe基底2-5.5μm高透薄膜的设计方法,其特征在于,包括步骤: Sa,膜系设计以550nm作为光学薄膜设计的参考波长,使用膜堆公式:Sub0.6LHL^2MKAIR,Sub两面镀一样的膜系,其中,Sub是ZnSe基底,AIR代表空气,在膜堆表达式中: H代表14波长厚度的高折射率材料ZnSe硒化锌 L代表14波长厚度的低折射率材料YbF3氟化镱, K代表14波长厚度的保护层材料Al2O3氧化铝, M代表14波长厚度的连接层材料Y2O3氧化钇, Sb,通过输入的膜堆公式,生成以SubYbF3ZnSeYbF3ZnSeYbF3Y2O3Al2O3Air的膜层结构; Sc,通过薄膜设计软件对膜层厚度进行优化,得到最佳的膜层厚度,优化后的膜层结构在2-5.5μm波段的透过率达到目标; Sd,将优化后的最佳的膜层厚度输入至镀膜机的控制电脑中; 在步骤Sc中,针对镜片的两面中的每一面,最佳的膜层厚度以膜层结构表示为: SubYbF338.73ZnSe214.84YbF3150.86ZnSe108.41YbF3520.68Y2O315Al2O330Air,括号中的数字为膜层厚度,膜层厚度的单位为nm; 在步骤Sc中,优化后的ZnSe基底2-5.5μm波段的透过率平均值大于98%。
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