株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板保持架、镀覆装置以及基板的定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119452125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280097671.7，技术领域涉及：C25D17/06；该发明授权基板保持架、镀覆装置以及基板的定位方法是由富田正辉设计研发完成，并于2022-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持架、镀覆装置以及基板的定位方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种在基板的定位时、即使在第一保持件相对于第二保持件从设计位置偏离的情况下、中心销也不会将基板过度按压至比设计位置靠中心侧的基板保持架。本公开所涉及的基板保持架具有第一保持件和第二保持件，第二保持件具有：用于将基板定位在规定的位置的定位部件、和限位器，定位部件具有能够在第一位置与第二位置之间移动的中心销，且构成为当中心销从第二位置移动至第一位置时，中心销与上述基板的周缘部接触并将上述基板定位在规定的位置，第一保持件具有驱动部件，该驱动部件构成为在由第一保持件和第二保持件保持基板时，对中心销向第一位置施力，限位器构成为与中心销接触并使中心销在第一位置停止。
本发明授权基板保持架、镀覆装置以及基板的定位方法在权利要求书中公布了：1.一种基板保持架，其中，具有： 第一保持件、和 与所述第一保持件一起夹住并保持基板的第二保持件， 所述第二保持件具有： 用于将所述基板定位在规定的位置的定位部件、和 限位器， 所述定位部件具有能够在第一位置与第二位置之间移动的中心销，且构成为当所述中心销从所述第二位置移动至所述第一位置时，所述中心销与所述基板的周缘部接触并将所述基板定位在所述规定的位置， 所述第一保持件具有驱动部件，所述驱动部件构成为在由所述第一保持件和所述第二保持件保持所述基板时，对所述中心销向所述第一位置施力， 所述限位器构成为与所述中心销接触并使所述中心销在所述第一位置停止， 所述驱动部件具备用于对所述中心销向所述第一位置施力的带弹簧或带弹性体的柱塞， 所述中心销具有被按压面， 所述驱动部件构成为，通过在垂直于所述基板的被镀覆面的按压方向上对所述被按压面进行按压，使所述中心销从所述第二位置朝向所述第一位置移动。
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