华海清科股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119347638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411538284.X，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法是由王宇;孟松林;商勇超;张洪蛟设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法，承载头包括圆形的主体部，其内部具有第一通气管路和第二通气管路；第一弹性膜，其与主体部的表面之间限定出中心腔体和多个环形腔体，多个环形腔体均与中心腔体同心，中心腔体与多个环形腔体均与第一通气管路连通，以使第一弹性膜的下表面吸附或松脱晶圆，且多个环形腔体中的至少一个朝向晶圆的表面设有多个气孔；第二弹性膜，其位于具有多个气孔的环形腔体内，第二弹性膜与第二通气管路连通，以封堵和敞开气孔。本申请实施例提供一种承载头、装置和晶圆抛光方法，能够稳定的吸附晶圆，并在晶圆抛光作业完成后，使晶圆与承载头脱离。
本发明授权用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的承载头，其特征在于，包括： 圆形的主体部，其内部具有第一通气管路和第二通气管路； 第一弹性膜，其与所述主体部的表面之间限定出中心腔体和多个环形腔体，多个所述环形腔体均与所述中心腔体同心，所述中心腔体与多个所述环形腔体均与所述第一通气管路连通，以使所述第一弹性膜的下表面吸附或松脱晶圆，且多个所述环形腔体中的至少一个朝向所述晶圆的表面设有多个气孔； 第二弹性膜，其位于具有多个所述气孔的所述环形腔体内，第二弹性膜与所述第二通气管路连通，以封堵和敞开所述气孔； 第二弹性膜的侧壁为具有褶皱的褶皱侧壁，且满足b5t1，其中，t1为第二弹性膜的侧壁的厚度，b为褶皱侧壁的单个褶皱的宽度。
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