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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利具有独立电极结构的静电MEMS微镜及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119335729B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411209119.X，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权具有独立电极结构的静电MEMS微镜及其制作方法是由曹英超;谢会开;贾宜龙;王华;邓耀宇设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有独立电极结构的静电MEMS微镜及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开的具有独立电极结构的静电梳齿驱动MEMS微镜及制作方法，属于微光机电领域，本发明的静电MEMS微镜，包括镜面、梳齿电极、梳齿支撑结构、扭转梁、焊盘、空腔和固定框架。驱动动梳齿电极和检测动梳齿电极通过扭转梁与焊盘连接。微镜通过填充隔离沟道将梳齿电极分为检测梳齿电极和驱动梳齿电极，并且通过去除梳齿电极底部的硅衬底用以降低寄生电容，从而避免驱动信号对于检测信号的馈通干扰，提高对静电MEMS微镜的电容检测精度。本发明根据背腔刻蚀优先顺序，还公开两种具有独立电极结构的静电MEMS微镜制作方法，本发明的静电MEMS微镜制作方法通过聚合物填充沟道、绝缘层和金属导线，实现不同梳齿电极的隔离和互联。

本发明授权具有独立电极结构的静电MEMS微镜及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种具有独立电极结构的静电MEMS微镜，其特征在于：包括镜面、梳齿电极、梳齿支撑结构、扭转梁、焊盘、空腔和固定框架；动梳齿电极被填充沟道隔离为驱动动梳齿电极和检测动梳齿电极；驱动动梳齿电极和检测动梳齿电极通过扭转梁与焊盘连接；定梳齿电极位于固定框架上，被填充沟道隔离为驱动定梳齿电极、地电极和检测定梳齿电极；地电极位于驱动定梳齿电极和检测定梳齿电极之间，避免驱动信号对于检测信号的馈通干扰；与定梳齿电极连接区域的底部硅衬底被去除并通过填充沟道与固定框架连接，用于隔离驱动定梳齿电极、地电极和检测定梳齿电极的沟道的独立电隔离区间底部的硅衬底被掏空，用以消除SOI晶圆中的埋氧层和衬底层引入的寄生电容，降低驱动信号对于检测信号的馈通干扰；焊盘位于固定框架上，通过填充沟道实现不同焊盘之间的绝缘，并通过金属导线与不同电极连接；通过填充隔离沟道将梳齿电极分为检测梳齿电极和驱动梳齿电极，并且通过去除梳齿电极底部的硅衬底用以降低寄生电容，避免驱动信号对于检测信号的馈通干扰，提高对静电MEMS微镜的电容检测精度。

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