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龙图腾网获悉青岛科技大学;青岛天惠辰科技有限公司申请的专利基于电磁支架的连续多腔室激光脉冲沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119307864B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411459298.2，技术领域涉及：C23C14/28；该发明授权基于电磁支架的连续多腔室激光脉冲沉积装置是由潘家敬;卢昆;张俊梅;王子福;肖燕玲设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于电磁支架的连续多腔室激光脉冲沉积装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于电磁支架的连续式多腔室激光脉冲沉积装置，适用于真空薄膜沉积领域，特别是激光脉冲沉积PLD工艺中的衬底转移和密封系统。该装置由五个腔室依次连接组成，包括常压放料室、预真空室、沉积室、增压室和取料室，各腔室之间通过法兰盘和双偏心蝴蝶阀进行密封，采用耐真空的氟橡胶或聚四氟乙烯密封圈确保腔室之间的高效隔离。物料的转移由电磁支架系统实现，该系统通过电磁铁控制带有磁性的吸附式托盘，在无接触的情况下实现物料的高精度转移，极大地提高了薄膜制备的连续性和生产效率。电磁支架的伸缩由气动装置控制，系统可在超高真空环境下精确运行，避免了传统机械磨损和真空泄漏的问题。本发明具有模块化设计，具备衬底快速转移、减少维护成本、提高生产效率和设备寿命的显著优势。

本发明授权基于电磁支架的连续多腔室激光脉冲沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种激光脉冲沉积装置，其特征在于，所述装置包括沿物料盘传递方向依次连接的常压放料室、预真空室、沉积室、增压室和取料室，各腔室通过法兰盘和双偏心蝴蝶阀密封连接，腔室之间的密封圈由耐真空的氟橡胶或聚四氟乙烯制成，且每个腔室配备独立的真空泵和压力传感器，用于控制腔室内的压力； 所述装置包括一个电磁支架系统，电磁支架通过驱动电机控制转动，并通过气动装置控制伸缩，电磁支架的端部设有带磁性的吸附式托盘，用于在多个腔室之间实现物料盘的转移； 所述电磁支架系统包括一个主杆和一个副杆，主杆为中空结构，副杆通过气动装置实现前后移动，当气瓶向主杆内通气时，副杆伸出；当主杆内的气体被抽出时，副杆收缩； 所述吸附式托盘通过电磁铁与电磁支架连接，电磁铁通电时吸附托盘，断电时释放托盘，用于在无接触的状态下完成物料的转移； 所述预真空室用于降低腔室内的压力，使其与沉积室内的超高真空环境相平衡；增压室用于逐步增加腔室内的压力，将物料盘从超高真空状态恢复到常压状态。

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