重庆康佳光电科技有限公司杨浩获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆康佳光电科技有限公司申请的专利晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118866724B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310391897.4,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质是由杨浩设计研发完成,并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质,其中,该方法包括:从检测设备获取待检测晶圆的扫描图像;对扫描图像进行区域分割处理,得到多个区域分割图像;确定第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息,并基于第一晶粒在第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息对第一晶粒进行特征提取处理,得到第一晶粒的目标特征;将第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比,确定第一晶粒存在异常或不存在异常;根据待检测晶圆中存在异常的晶粒,确定待检测晶圆的检测结果,检测结果用于指示待检测晶圆的异常类型。采用本发明,可以准确检测出晶圆中异常晶粒的位置,有利于提升晶圆异常检测的精度。
本发明授权晶圆异常检测方法、装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种晶圆异常检测方法,其特征在于,所述方法包括: 从检测设备获取待检测晶圆的扫描图像; 对所述扫描图像进行区域分割处理,得到多个区域分割图像;其中,所述多个区域分割图像中的一个区域分割图像用于展示所述待检测晶圆的至少一个晶粒; 确定第一晶粒在所述第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息,并基于所述第一晶粒在所述第一晶粒对应的区域分割图像中的位置信息对所述第一晶粒进行特征提取处理,得到所述第一晶粒的目标特征;所述第一晶粒为所述待检测晶圆中的任意一个晶粒; 将所述第一晶粒的目标特征与预设数据集中的参考特征进行特征对比,确定所述第一晶粒存在异常或不存在异常; 根据所述待检测晶圆中存在异常的晶粒,确定所述待检测晶圆的检测结果,所述检测结果用于指示所述待检测晶圆的异常类型。
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