湖北鼎龙汇鑫科技有限公司邱东兴获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鼎龙汇鑫科技有限公司申请的专利一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118754675B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410736645.5，技术领域涉及：C04B35/581；该发明授权一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘是由邱东兴;张荦;艾俊迪;李轶凡;李博设计研发完成，并于2024-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘在说明书摘要公布了：本申请提供一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘，涉及陶瓷材料领域。本申请中的陶瓷浆料的组分包括：氮化铝粉体、基体调阻剂、有机溶剂，其中氮化铝粉体的粒径分布范围为100～1000nm；基体调阻剂为过渡金属氮化物，且基体调阻剂与氮化铝粉体的质量比小于0.03％。使用本申请的陶瓷浆料制备的氮化铝陶瓷材料不仅能维持良好的热导率，而且其高温下的体积电阻率也能保持在合适的范围，从而满足静电卡盘的需求。含有本申请氮化铝陶瓷材料的静电卡盘不仅能够保证晶圆的加工精度，还具有大范围的使用温度域、稳定的吸附力与高效可控的脱附性。
本发明授权一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷浆料，其特征在于，其组分包括：氮化铝粉体、基体调阻剂、晶格纯化剂以及有机溶剂，其中所述氮化铝粉体的粒径分布范围为100~1000nm；所述基体调阻剂为过渡金属氮化物，所述过渡金属氮化物包括VN、TiN、CoN、NiN、TaN中的至少一种；且所述基体调阻剂与所述氮化铝粉体的质量比为0.005%~0.025%；所述晶格纯化剂包括稀土金属氧化物、稀土金属氟化物、碱金属氧化物、卤化锂中的至少两种，且所述晶格纯化剂与所述氮化铝粉体的质量比不大于3%，不等于0。
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