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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118639216B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410830368.4，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置是由徐明升;贾垂邦;陈晓华;韩吉胜;徐现刚设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置，包括横向的圆柱形的石英舟外壳，石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板，第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟，鼠笼舟的圆周面上均匀设置有若干通孔，第一隔板中心设置有中心通孔，第二隔板和第三隔板上均匀设置有若干通气孔，石英舟外壳右端面底部设置有进气口。本发明的有益效果是：本发明可以有效改善晶圆片表面流速不均匀导致的沉积不均匀现象，同时减少炉管内壁的薄膜沉积，节约生产成本。

本发明授权一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置，其特征在于：包括横向的圆柱形的石英舟外壳，石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述石英舟外壳右端端面与第一隔板之间形成第一空腔，第一隔板与第二隔板之间形成第二空腔，第二隔板与第三隔板之间形成第三空腔，第三隔板与石英舟外壳左端端面之间形成第四空腔，所述第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟，所述鼠笼舟的左右两端端面均设置有封堵板，且鼠笼舟圆周面上设置有若干组通孔，每组通孔包括轴向间隔排成一排的若干长条形的通孔，鼠笼舟内侧壁上设置有若干Y形的晶圆片卡槽，相邻的晶圆片卡槽间距为1~2cm，所述第一隔板中心设置有中心通孔，第二隔板和第三隔板上均匀设置有若干通气孔，所述石英舟外壳右端面底部设置有两个与第一空腔相连通的进气口，所述进气口外接有进气组件，所述石英舟外壳左端面中心设置有出气口； 所述石英舟外壳由上下密封扣合且横截面均为半圆形的上壳体和下壳体组成，所述第一隔板、第二隔板、第三隔板、鼠笼舟和封堵板均分成分别固定在上壳体内部和下壳体内部的上下两部分，且上壳体和下壳体密封扣合时第一隔板、第二隔板、第三隔板、鼠笼舟和封堵板的上下两部分也分别对应密封对接，上壳体左端面中心开有半圆形的出气口，下壳体左端面中心开有半圆形的出气口，上壳体和下壳体密封扣合时两个半圆形的出气口组成一个圆形的出气口。

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