安徽纯源镀膜科技有限公司张心凤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽纯源镀膜科技有限公司申请的专利一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117512528B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210888907.0,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置是由张心凤;夏正卫;李灿民设计研发完成,并于2022-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置,包括过滤器,过滤器由各个首尾相连的管段构成,所述的管段为直管段,管段的数量≥3。本发明提供的上述方案,通过改变过滤器的结构,过滤器可有效过滤掉等离子体中的微观颗粒,适用于多种金属\合金\石墨等阴极靶材的等离子体的过滤提纯,同时等离子体在磁过滤器中行进时阻碍降低,从而提高沉积速率。
本发明授权一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置在权利要求书中公布了:1.一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置,其特征在于:包括过滤器,过滤器由各个首尾相连的管段构成,所述的管段为直管段,管段的数量≥3;相邻管段之间交接处为弧形过渡连接;位于过滤器中部管段的内部磁场强度大于过滤器两端的管段的内部磁场强度; 通过改变各管段外部设置的线圈匝数使得中部管段的内部磁场强度大于两端的管段的内部磁场强度;管段包括A、B、C管段,B管段位于A、C管段之间,A、B、C管段的中心线处于同一平面内,A管段入口和C管段的出口呈90°夹角布置;电磁线的励磁电流大小为8~20A;A、C管段的线圈匝数分别为N,B管段的线圈匝数为M,M-N=6。
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