星钥(珠海)半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117260527B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311482451.9,技术领域涉及:B24B37/005;该发明授权一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了:本发明涉及研磨制造领域,特别是涉及一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质,通过当更改研磨产品类型时,获取更改后的研磨产品类型对应的预设研磨速率及对应的批次系数;根据所述预设研磨速率与所述批次系数,得到待定研磨速率;根据所述待定研磨速率确定首件研磨计划;将所述首件研磨计划发送至研磨设备,使所述研磨设备根据所述首件研磨计划研磨;从所述研磨设备接收样品研磨反馈信息;根据所述研磨反馈信息确定修正系数;利用所述修正系数对所述批次系数进行更新;根据更新过的批次系数及所述预设研磨速率,利用APC反馈进行批量研磨。本发明提升了更换研磨产品类型时的前期试磨的准确度,提升了研磨的生产效率,降低了生产成本。
本发明授权一种多类型产品的研磨方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种多类型产品的研磨方法,其特征在于,包括: 当更改研磨产品类型时,获取更改后的研磨产品类型对应的预设研磨速率及对应的批次系数;所述批次系数为在当前研磨耗材下,同种研磨产品类型的实际研磨速率与对应的预设研磨速率的比值; 根据所述预设研磨速率与所述批次系数,得到待定研磨速率; 根据所述待定研磨速率确定首件研磨计划; 将所述首件研磨计划发送至研磨设备,使所述研磨设备根据所述首件研磨计划研磨; 从所述研磨设备接收样品研磨反馈信息; 根据所述研磨反馈信息确定修正系数; 利用所述修正系数对所述批次系数进行更新; 根据更新过的批次系数及所述预设研磨速率,利用APC反馈进行批量研磨; 所述根据所述研磨反馈信息确定修正系数包括: 根据所述研磨反馈信息确定更改后的研磨产品类型的实际研磨速率; 求更改后的研磨产品类型的实际研磨速率与对应的待定研磨速率的比值,作为修正系数; 还包括: 当更改所述研磨产品类型的次数大于或等于两次时,判断最新的批次系数对应的修正系数是否比上一次的批次系数对应的修正系数更接近1; 当最新的批次系数对应的修正系数不比上一次的批次系数对应的修正系数更接近1时,生成警报信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司,其通讯地址为:519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励