浙江确安科技有限公司周乃新获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江确安科技有限公司申请的专利基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法、系统和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117078597B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310894440.5,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法、系统和存储介质是由周乃新设计研发完成,并于2023-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法、系统和存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法、系统和存储介质,包括:获取待检测晶圆的MAP图,计算MAP图的最外圈分别与每个内圈之间的环形区域的整体良率;按照每个环形区域对应的最外圈与内圈之间的半径差值大小,对所有环形区域进行升序排列,得到目标队列,并将目标队列中的首个整体良率大于或等于预设整体良率的环形区域确定为目标环形区域;将目标环形区域划分为多个相同的弧形区域,并获取每个弧形区域的整体良率,当所有弧形区域中的最高整体良率与最低整体良率的差值大于预设差值时,判定待检测晶圆发生偏移。本发明能够及时发现晶圆测试过程中产生的mapshift,在提高判断准确率的同时,避免造成重大经济损失。
本发明授权基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法、系统和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种基于MAP图的晶圆测试偏移检测方法,其特征在于,包括: 获取待检测晶圆的MAP图,计算所述MAP图的最外圈分别与每个内圈之间的环形区域的整体良率; 按照每个环形区域对应的最外圈与内圈之间的半径差值大小,对所有环形区域进行升序排列,得到目标队列,并将所述目标队列中的首个整体良率大于或等于预设整体良率的环形区域确定为目标环形区域; 将所述目标环形区域划分为多个大小相同的弧形区域,并获取每个弧形区域的整体良率,当所有弧形区域中的最高整体良率与最低整体良率的差值大于预设差值时,判定所述待检测晶圆在晶圆测试中发生偏移。
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