矽电半导体设备(深圳)股份有限公司王胜利获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117054844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311048371.2,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权测试装置是由王胜利;吴贵阳设计研发完成,并于2023-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种测试装置。测试装置包括承载平台、测试组件和第一驱动组件,承载平台设置有承载面和通孔,承载面用于承载被测单元,通孔连通承载面以漏出被测单元。测试组件包括检测件和加热件,检测件和加热件分别位于承载面相对的两侧,检测件和加热件在垂直于承载面的方向上相对设置。第一驱动组件与测试组件连接,第一驱动组件能够驱使检测件和加热件相对靠近,使得加热件抵持于被测单元的一侧进行区域加热,使得检测件抵持于被测单元的另一侧进行检测,实现对被测单元的区域加热以及对应区域的测试,减少升温和降温时间,提高测试效率。并降低对温度的控制要求,易于实现对加热时间具有限制的测试,有效降低测试难度。
本发明授权测试装置在权利要求书中公布了:1.测试装置,其特征在于,包括: 承载平台,设置有承载面和通孔,所述承载面用于承载被测单元,所述通孔沿垂直于所述承载面的方向延伸,所述通孔连通所述承载面,所述通孔用于漏出被测单元; 测试组件,包括检测件和加热件,所述检测件和所述加热件分别位于所述承载面相对的两侧,所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上相对设置; 第一驱动组件,与所述测试组件连接,用于驱使所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上做相对运动,以使所述检测件和所述加热件与被测单元抵持; 其中,所述通孔在平行于所述承载面的方向上具有设定的面积W1,所述加热件朝向所述承载面的端面具有设定的面积W2,满足:W2<0.5W1。
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